一种氮化硅烧结炉.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种氮化硅烧结炉.pdf

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本实用新型公开一种氮化硅烧结炉。本实用新型提供一种氮化硅烧结炉，包括：其特征在于，包括：底座、驱动装置烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐。通过设置底座、驱动装置、烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐，可拆卸式烧结罐可以插在驱动装置的转轴上，使得转轴上的搅拌叶片伸入罐体内部，通过驱动装置带动转轴转动从而对罐体内的原料进行搅拌，烧结室底部设置有微波加热装置，可以利用微波进行氮化硅的烧结。罐体可以灵活从烧结室中取出，便于装料和卸料以及维护，微波加热装置加热温度场均匀，热应力小，适宜于快速烧结。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213396478 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022336820.1 (22)申请日 2020.10.20 (73)专利权人埃克诺新材料（大连）有限公司