一种晶圆生产加工专用涂敷装置.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种晶圆生产加工专用涂敷装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用涂敷装置，包括涂敷装置主体，所述涂敷装置主体的顶端设置有涂敷毛体，所述涂敷装置主体的底端固定安装有手把，所述涂敷装置主体的内表面边缘处开设有凹槽，所述凹槽的内部通过胶液粘合固定有弹簧，所述弹簧的端部弹性连接有卡头；通过在凹槽的内表面设计弹簧与卡头和在涂敷毛体的边缘处设计卡槽，避免在使用时涂敷毛体与涂敷装置为一体式结构，在涂敷毛体掉落时不便于拆卸更换，可以在长时间使用涂敷毛体损坏时，通过弹簧在凹槽的内部发生弹性形变的作用将卡头脱离于卡槽的内部，此时将涂敷毛体脱离

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401107 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022560332.9 (22)申请日 2020.11.09 (73)专利权人苏州市永辰芯微电子有限公司