一种高效率的碳化硅长晶装置.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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一种高效率的碳化硅长晶装置.pdf

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本申请公开一种高效率的碳化硅长晶装置，属于晶体制备领域。该高效率的碳化硅长晶装置，包括：炉体；保温层，所述保温层设置在所述炉体内；坩埚，所述坩埚设置在所述保温层内部，所述坩埚内包括原料区和长晶区，所述保温层和所述坩埚的顶部形成产品区；籽晶托，所述籽晶托用于固定籽晶，所述籽晶托设置在所述长晶区；驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述籽晶托旋转，以使所述籽晶的长晶面朝向所述原料区。该长晶装置单炉次可产出两块晶体，提高了生产效率，节约了生产成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213142287 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202021385584.6 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司