一种半导体龙门拾取模组.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种半导体龙门拾取模组.pdf

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本实用新型公开了一种半导体龙门拾取模组，旨在提供一种快速到位拾取、结构简单且兼容性强的一种半导体龙门拾取模组。本实用新型包括移载机构以及拾取机构，移载机构带动拾取机构作往复运动，拾取机构包括底板真空吸附组件、下压组件、传动组件以及若干组拾取单元，底板与移载机构相连接，底板两侧分别设置有两组侧板，真空吸附组件设置在底板上并对应与若干组拾取单元相配合，下压组件、传动组件以及若干组拾取单元均与侧板相连接，下压组件设置在侧板的中段，传动组件与下压组件配合连接并对应带动若干组拾取单元作拾取动作。本实用新型

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218525559 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202122801420.8 (22)申请日 2021.11.16 (73)专利权人长园半导体设备（珠海）有限公司地