一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器.pdf

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本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，所述矩形柱沿所述下层板边框均匀分布，形成环形壁，所述下层板上且位于环形壁内侧竖向设置有多个调谐柱，所述环形壁上方设置有上层板；本实用新型的滤波器结构为双层结构，采用间隙波导技术，两层结构之间不需要严格的电接触，降低了对于加工组装的精度要求；其中传输介质为空气，具有传输损耗低的优点；可以通过调节调谐柱之间的距离和调谐柱的结构来调整级联谐振腔之间的耦合系数。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026428 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021690670.8 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人南京理工雷鹰电子科技有限公司