一种晶圆加工用自动卸料研磨机.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种晶圆加工用自动卸料研磨机.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，包括主机台，所述主机台的上部左侧焊接有第一立板，所述主机台的上部右侧焊接有第二立板，所述第一立板和第二立板的上部焊接有顶板，所述顶板的上部固定连接有液压缸，本实用新型带有液压缸，所述液压缸的活塞杆下端焊接有研磨电机，所述研磨电机的输出轴固定连接有研磨盘，研磨盘能够对晶圆进行打磨，为了方便下料，所述主机台的上部设有活动底板，活动底板的上部设有晶圆放置凹槽，用于放置晶圆，所述活动底板的后侧设有气缸，气缸能够带动活动底板后移，方便进行下料，并且能够防止液压

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212601160 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020978629.4 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人无锡市空穴电子科技有限公司