一种全自动晶圆划片机定位装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种全自动晶圆划片机定位装置.pdf

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本实用新型公开了一种全自动晶圆划片机定位装置，包括二维平台，所述二维平台的表面一端焊接有第一滑轨槽，且第一滑轨槽内滑动连接有第一滑块，所述二维平台的表面另一端焊接有第二滑轨槽，且第二滑轨槽内滑动连接有第二滑块，所述第一滑块与第二滑块的顶端设置有主滑轨，所述主滑轨的顶端滑动连接有滑轨座。该全自动晶圆划片机定位装置，通过第二电机带动第二丝杆旋转，配合螺纹连接的滑轨座，使滑轨座拖动载物台达到纵向自由移动的效果，通过将定位板设置在滑轨座的两侧，用于在滑轨座移动的过程中达到定位的目的，防止移动过程中的滑轨

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212599745 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020658779.7 (22)申请日 2020.04.27 (73)专利权人无锡芯坤电子科技有限公司