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Word 3...... FSI 清洗机培训教材 目 录 FSI清洗机介绍： FSI组成及结构功能： 软件操作介绍： 程序以及输出功能： 流量控制： Chemical Auto fill功能介绍： 常见故障以及维修方法： FSI清洗机介绍 FSI用途：FSI用于圆片的外表清洗系统，可以去除颗粒、金属离 子以及剥离局部氧化膜； FSI设备全称： MERCURY MP Surface Condition Division System， FSI公司早期的Spray System Product； FSI工作原理：在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntable 上，在Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾化喷洒在圆片外表，有两个喷嘴：Spray post 和 Side-bowl spray post，到达去除颗粒、金属离子以及剥离局部氧化膜的目的，然后用DI Water 冲洗圆片外表，最后通过Turntable的高速旋转〔500 rpm〕以及N2 Purge来使圆片的外表枯燥。 FSI用到的原料：主要有5种Chemical:H2SO4，HCL，HF，NH4OH，H2O2；还有DI Water〔去离子水〕、 N2和CDA〔压缩空气〕。 FSI常用工艺菜单：B-CLEAN，S*P5/1，POLY-BCLN，BP-BCLN； 平安措施：设备的每个局部都安装有Interlock 开关，禁止工艺时翻开门、盖子等组件，如果Interlock 开关被翻开，那么会使设备停机，工艺中断；警告：工艺时禁止对FSI清洗机的任何局部进行任何操作。 设备学习参考资料： FSI清洗机操作标准 ； 6〞FSI清洗机 PM操作标准 ； FSI组成及结构功能 FSI由五局部组成，各单元相互独立： Electronic Consol；Process Consol；Canister Consol；Booster Pump；Hellos 52 DI Water Heater。〔其中前两局部放在白区，后三局部放在灰区〕 结构及其功能： Electronic Consol：监视和控制程序的运行，是系统的核心局部， 内部由7个抽屉构成，可以拉出来，便于查看，主要有：286的单片机以及控制组件，Touch screen(触摸式显示屏)，软盘驱动器，流量控制组件以及N2管路的过滤器和压力调节阀； Process Consol：主要由Cover、Process Chamber、Motor、Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLW PICKUP等，每次作业可以清洗6批圆片，门盖安装了Spray post, 在chamber壁上安装了Side-bowl spray post，这两个Spray post就是工艺时的酸液喷嘴。 Canister Consol：主要用于存放5种化学液，有两个存放柜，每个柜中存放三个Canister，每个Canister连接四个管道，依次是：酸液输入管道、酸液输出管道、破裂阀连接管道、N2输入管道〔通过22号阀实现加压及释放压力〕，动力课通过SDC供液系统统一供给化学溶液，每次工艺结束，系统发个自动灌酸指令“50〞，酸液从动力管道灌到酸桶Canister中，工艺时再从酸桶中把酸液压到Chamber中。 Booster Pump：DI Water增压系统，动力提供的DI Water 压力不能满足FSI的需求，所以增加了增压泵，由两个增压泵和两个过滤器构成，当系统压力达不到要求时，增压泵开始工作。 Hellos 52 DI Water Heater ：用于DI Water的加热，由主机和一个监视器构成，监视器放置在Electronic Consol的顶部，目的是为了DI Water 加热器的工作状态。 件操作介绍： FSI的自动控制是通过286结构的单片机来控制的，由于没有硬盘及ROM，只有NVM〔非易失存储器〕，所以程序就保存在软盘上，通过软盘驱动器来读取程序，而且启动时要插入启动软盘，启动结束后再插入程序软盘。至于显示器用的是Touch screen(触摸式显示屏)，这种显示器可以用手指直接点击，这样就不需要键盘了。 软件的结构介绍，主界面视图下列图所示： Name: process name Name: process name Time: XX: XX Temp: XXX Sec: XXX Step: XX Speed: XXX rpm Outputs XX, XX, XX 0-Other status 1-Select Process 2- Special Fun