电镀深镀能力与均匀性测试报告课件.pptVIP

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2021-10-13 发布于广东
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电镀深镀能力与均匀性测试报告课件.ppt

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*;内容; 定期测试电镀工序均匀性及深镀能力,以保证电镀工序制程品质稳定,建立其制程中不良产品的减少与预防为目的,以实施产品质量合格化,进而生产出优良产品以满足客户之要求 ; a. 规格开料尺寸：24.5*20.5〞板厚：1.5MM 数量：16PNL b.测试板钻带制作因本钱考虑，电镀均匀性与深镀能力同PNL测试，测试板钻带号为ME-TEST001，并钻不同孔径孔，如以下图示：; C.测试流程 → → →;电镀均匀性：以每飞靶挂8PNL板，编号测量面铜厚，区分C面/S面测量面铜，每PNL板单面???量28点，如下为挂板图与测量点示意图：;电镀深镀能力：切片测量不同纵横比的深镀能力，两种电镀生产条件〔12ASF*110mins/14ASF*90mins〕以六点法计算方式测试深镀能力;- 电镀参数：12ASF*110mins - 镀铜均匀性：86%，满足要求;- 电镀参数：14ASF*90mins - 电镀均匀性：85%，满足要求;电镀深镀能力测试结果：;电镀均匀性测试结果：〔1#铜缸〕 - 电镀参数：12ASF*110mins，COV=14% - 电镀参数： 14ASF*90mins 14ASF*90mins，COV=15% - 2种条件的测试结果均能满足要求〔COV≤15%〕， 12ASF*110mins优于14ASF*90mins 深镀能力测试结果：〔1#铜缸〕 - 电镀参数：12ASF*110MIN ,纵横比在6:1、5:1、4.3:1条件下，平均T/P值均≥80% - 电镀参数：14ASF*90MIN ,纵横比在6:1、5:1、4.3:1条件下，平均T/P值均≥80% - 同一制板条件下，电流密度越小，电镀时间越长，深镀能力越好， 12ASFX110min的深镀能力优于14ASFX90min;1、深度能力测量数据：电镀参数： 12ASF*110MIN，纵横比 6:1，0.25MM孔径测量结果 ; 附表：; 附表：; 附表：; 附表：; 附表：;Thanks