Nikon-I11光刻机开关机操作规范必威体育精装版.pdfVIP

标题: NIKON 光刻机开关机操作规范 Version#:9C07 1.0 目的： 本计划的目的是使NIKON 光刻机正常开关机。 2.0 范围： 本规范适用于所有NIKON 光刻机。 3.0 定义： 无。 4.0 输入： 待开关机的设备。 5.0 输出： Machine startup checklist、Machine shut down checklist 6.0 绩效指标： 无 7.0 责任： 严格按文件要求实施，确保设备正常运行。 8.0 作业流程： 无 9.0 备注说明： 9.1 NIKON 开机操作规程： 9.1.1 检查动力源是否正常，并打开真空，压空阀门和循环冷却水 阀门，并将排风阀门打开至指定位置。 9.1.2 更换水过滤器。 9.1.3 打开变压器电源。 9.1.4 将主电源旋钮旋至ON 。 9.1.5 按下主电源开关POWER ON 。 9.1.6 合上配电柜中的所有开关。 9.1.7 打开CHAMBER 。 9.1.8 打开汞灯电源，并点灯（使用寿命为1500 小时）。 9.1.9 点亮卤素灯（使用寿命为1500 小时）。 9.1.10 打开各个控制板电源。 9.1.11 打开计算机电源，并启动系统。 9.1.12 待屏幕出现 “ ”的时候，键入 “B ”，并回车。在屏幕出现登陆界面时，输入用 户名 “MCSV” ，密码 “PASS ”，在窗口Session Manager on NTVS01 中。，点击 APPLICATIONS ，在下拉菜单中选择MCSV ，在出现的NSR MCSV 窗口中，点 击START 按纽。并初始化设备。 9.1.13 进行设备精度检查。 9.2 NIKON 关机操作规程： 9.2.1 将设备内的圆片和光刻版退出设备。 9.2.2 将LENS CONTROL STOP。 9.2.3 选择SHUTDOWN SYSTEM，按OK 进行确认。 9.2.4 在窗口 “SESSION Manager on NTVS01 ”，中点击SESSION，在下拉菜单中选择 END SESSION，从而EXIT Session Manager 。在随后出现的登陆界面中输入用户 名 “SHUT”，密码 “DOWN ”点击登陆，在程序运行结束后，将计算机电源关闭。 9.2.5 关闭汞灯和卤素灯的电源。 9.2.6 关闭各个控制板电源。 Document #: 1-2 秘密 The information contained herein is the exclusive property of CSMC and shall not be distributed, reproduced, or disclosed in whole or in part without prior written permission of CSMC.Electronic versions are uncontrolled except when accessed directly from Document Center. Printed versions are uncontrolled except when stamped “DO NOT COPY” in red. 标题: NIKON 光刻机开关机操作规范 Version#:9C07 9.2.7 将CHAMBER OFF 。 9.2.8 关闭配电柜中的各个电源开关。 9.2.9 按下主电源开关POWER OFF 。 9.2.10 将主电源旋钮旋至OFF 。 9.2.11 关闭各个动力源。 9.2.12 关闭变压器电源。 10.0附录： 无。 11.0 参考： 无。