IMC作业与测量手法培训 v2.0.pptVIP

IMC作业与测量手法培训  主要内容与实验目的 IMC及IMC实验的定义 化学药品/工具/烤箱温度要求 IMC操作流程及操作方法 IMC测量方法与测试判定规格 实验与测量过程中应注意的事项 内 容： 目的： 定义以化学蚀刻的方法检查焊球IMC覆盖面积范围 The software of IMC testing IMC及IMC实验的定义 1. IMC定义 IMC英文全称为Intermetallic Compound，译为界面合金共化物。从广义上 讲IMC是指某些金属相互紧密接触之介面间由于扩散作用，会产生一种原子迁 移互动的行为，从而组成一层类似合金的”化合物”。 2. IMC实验 通过化学药品，检查W/B后，芯片铝层和金球、铜球、银合金球之间异种金 属相互接触形成的合金的面积。 铜线IMC示意图 铜线IMC cross-section EDS确认 化学药品/工具/烤箱温度与时间 1. 化学药品： a. 铜线IMC: 65%~68%浓度的硝酸； b. 金线IMC：按照1:50重量比配置溶液（KOH）； c. 合金线IMC: 约98%浓度的发烟硝酸。 2. 所用工具： 铁镊子，防护指套，防护手套，烧杯，滴管，加热台，高倍显微镜，烤箱，滤纸等 3. 烤箱温度及时间 a. 铜线产品：烤箱温度175℃，烘烤时间3小时； b. 金线产品：无需烘烤； c. 合金线产品: 烤箱温度175℃，烘烤时间5小时 IMC操作流程及操作方法-铜线 1. 作业前要求 a. 将样品放入烘箱175℃ ，3小时烘烤（3小时不包含烘箱的升降过程） b. 3小时后，用耐热手套将样品从烘箱中取出，冷却 c. 在进行作业之前，需穿好工作服，戴好口罩和防护手套 e. 将操作间的通风系统打开，加热板温度调至120℃ d. 镊子，滤纸，烧杯等需要的材料、药品和工具 2. 实验方法 a. 待温度升至120℃后，将需做IMC的样品放置加热板上1~2min（加热板上 需加一层铝箔纸，防止酸液流到加热板表面，与加热台表面金属反应） b. 用干净的吸管在装有硝酸的瓶内吸取需热量，滴在加热台产品上，停留时 间1~5s,待酸反应后立即将产品放入装有纯水的烧杯内清洗 c. 用滤纸将产品上的水渍吸干（或用气枪吹干） d. 利用高倍显微镜(X1000)检查并截取影像 Copper wire IMC IMC操作流程及操作方法-银合金线 1. 作业前要求 a. 将样品放入烘箱175℃，5小时烘烤（5小时不包含烘箱的升降过程） b. 5小时后，用耐热手套将样品从烘箱中取出，冷却 c. 在进行作业之前，需穿好工作服，戴好口罩和防护手套 e. 将操作间的通风系统打开，加热板温度调至90℃ d. 镊子，滤纸，烧杯等需要的材料、药品和工具 2. 实验方法 a. 待加热板温度升至90℃后，用烧杯取发烟硝酸30ml并将其放置于加热板上； b. 待发烟硝酸加热后,将待测产品放入烧杯中加热10-15分钟。加热时间完成 时先将发烟硝酸倒入废弃溶液放置瓶中，然后将产品放入装有纯水的烧杯 内进行清洗； c. 用滤纸将产品上的水渍吸干（或用气枪吹干） d. 利用高倍显微镜(X1000)检查并截取影像 注： 30ml发烟硝酸，放入产品的数量不能超过4只 Alloy wire IMC IMC操作流程及操作方法-金线 1. 作业前要求 a. 在进行作业之前，需穿好工作服，戴好口罩和防护手套 b. 将操作间的通风系统打开，加热板温度调至120℃ c. 镊子，滤纸，烧杯等需要的材料、药品和工具 2. 实验方法 a. 准备一杯氢氧化钾（按照1:50重量比配置溶液）)蚀刻溶液; b. 待加热板温度上升120℃，将待测的产品放入已加热完成的氢氧化钾溶液中， 待加热至线与芯片脱离后（其蚀刻时间约为2-5分钟），用镊子夹起样本， 浸置于装有清水的烧杯内，清洁产品表面残留溶液； c. 将样本置