氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响.pdfVIP

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2020-01-19 发布于辽宁
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氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响.pdf

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第卷第期光子学报 48 4 Vol.48No.4 年月 2019 4 A ril2019 ACTAPHOTONICASINICA p 引用格式: , , , WANGHon-meiLIYu-fan SHENHon-lieetal.EffectofNitroenGasFlowRateonProertiesofDiamond g g g g p [] , , (): LikeCarbonFilmsPrearedb ManetronSutterin J.ActaPhotonicaSinica 2019 484 0416003 p y g p g , , , [] , , (): 王洪美李玉芳沈鸿烈等氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响光子学报 . J. 2019484 0416003 氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响 , , , , , , 王洪美李玉芳沈鸿烈翟子豪陈洁仪杨家乐杨艳 ( , , ) 南京航空航天大学材料科学与技术学院江苏省能量转换材料与技术重点实验室南京 211100 : ( ) , 摘要采用磁控溅射法以石墨为靶材在玻璃衬底上沉积了类金刚石薄膜用原子力显微镜表征 DLC , 、了不同氮气流量条件下生长薄膜的形貌用拉曼光谱仪射线光电子能谱仪和分光光度计分析了样品 X 、 : , 的微结构元素的价态和透光性能结果表明沉积的薄膜均为非晶结构通入氮气时薄膜的光 . . 2sccm , , 3 , / ; 学透过率大大提高此时DLC薄膜内的氮元素含量为5.88% s 键百分比为 64.65% I I值为 1.81 p D G 掺氮薄膜在可见光范围内光学透过率达到随着氮气流量增加, 薄膜光学透过率呈现 DLC