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苏州晶格电子有限公司 / M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电 阻： 0.010 ～ 9999Ω, 分辨率0.001 ～ 1 Ω 电 阻 率： 0.010～ 2000Ω-cm， 分辨率0.001 ～ 1 Ω-cm 方块电阻： 0.050～ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ～ 1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直 径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级 量程（Ω-cm/□） 9.999 99.99 999.9 9999. 电阻测试范围 0.010～9.999 9.99～99.99 99.99～999.9 999.9～9999 电阻率/方阻 0.010/0.050～9.999 9.99～99.99 99.99～999.9 999.9～2000 基本误差 ±1%FSB±2LSB ±2%FSB±2LSB 4) 适配器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电 5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm 净 重：≤0.5kg
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