GB/T 36706-2018磷化铟多晶.pdf

ICS 29.045 H 83 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 36706—2018 磷化锢多晶 Polycrystalline indium phosphide 2018-09-17 发布 2019-06-01 实施 发布 GB/T 36706—2018 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会 (SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位:南京金美傢业有限公司、有色金属技术经济研究院、 中国电子科技集团公司第十 三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、 中国科学院半导体研究所、云 南中科鑫圆晶体材料有限公司。 本标准主要起草人：范家 、邢志国、杨桂芳、刘文兵、李素青、王阳、李晓岚、孙聂枫、刘惠生、 赵有文、惠峰、朱刘、刘永豪。 T GB/T 36706—2018 磷化锢多晶 1范围 本标准规定了磷化钢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货 单（或合同）内容。 本标准适用于生产磷化钢单晶用的磷化钢多晶。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1423贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T 4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T 14844半导体材料牌号表示方法 3要求 3.1牌号 磷化钢多晶的牌号表示应符合GB/T 14844的规定。 3.2电学性能 磷化钢多晶的电学性能应符合表1的规定。 表1电学性能 要求 项目 A级 B级 C级 D级 E级 载流子迁移率 4 500 3 500 3 000 2 500 2 500 cm2/ （V • s） 载流了浓度 3X1015 6X1015 8X1015 1X1O16 £3X10 atoms/cm3 3.3密度 磷化钢多晶的理论密度为4.787 g/cm3;实测密度与理论密度的偏差应在±5%以内，即实测密度应 为 4.548 g/cm3〜5.026 g/cm3。 3.4外观质量 磷化钢多晶为灰色固体，表面致密、无孔洞、无富钮、无富磷。