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靜電防治訓練課程經驗分享 業務部 內容大綱 靜電放電簡介 靜電放電的模型 ESD的影響 靜電防治專有名詞介紹 靜電防治材料定義 靜電防治基本法則 ESDA測試標準及介紹 靜電放電簡介 靜電是甚麼? 原因—剝離,摩擦,感應…… 機制---物質因失或得到電子而帶電 影響摩擦生電電量的因素 常用的數量級符號 數量級 全名 符號 1012 Tera T 109 Giga G 106 Mega M 103 Kilo K 10-3 Milli M 10-6 Micro μ 10-9 Nano N 10-12 Pico P 典型的ESD電壓 靜電放電的模型 人體帶電模型(Human Body Medel,HBM) Discharge to the Device 機器帶電模型(Machine Model,MM) Discharge to the Device 元件帶電模型(Charaged Device Model,CDM) Discharge from the Device (Human Body Medel,HBM) 模擬由站立人體之手指尖端放電至元件的現象 (Machine Model,MM)  70年代,日本人認為HBM不足以代表worst-case而提出,適用於自動組裝之製造環境 MM的電容值較HBM大,因此MM儲存的電荷較多 R很小因此電流較大,速度較快 (Charaged Device Model,CDM) 現代自動化組裝製造環境中最重要的ESD模型 --觀念簡單,再生困難 --速度快,難保護 CDM Event 的來源 --測試機台 --SMT --IC的包裝 ESD的三種模型 HBM與MM—人體,機器或環境帶電 --HBM是最古老且最常發生的模式,但並非最嚴重的危害模式 --MM造成的故障與HBM類似但電壓卻遠低於HBM,速度亦較HBM快 CDM—元件帶電 --模擬一帶電元件經由一腳接地而放電的現象 造成ESD故障的主要原因 --電流上升時間最快速 ESD的影響 ESD事件—因局部高溫或電位差造成半導 體元件的破壞 ESD基本上就是一種熱效應 可能發生在製程中或使用中的任何階段 成本問題,客戶抱怨,商譽的損失 電子元件ESD故障之構因 功率相關:熱崩潰,金屬熔蝕… -Power=IESD× Voperating 電壓相關:介電質崩潰… 潛在性故障:功能劣化… 靜電防治專有名詞介紹 ESDS(Electrostatic Discharge Sensitive)Item靜電放電敏感零組件 對於靜電放電敏感(易被ESD破壞)的元件.組件或模組 SSZ(Static-Safe Zone)靜電安全區域 內部任一點均符合Basic Rule之要求的區域 SSW (Static-Safe Workstation)靜電安全工作站 Esd Protective Workstation (SSW)靜電放電防護工作站 內涵ESDS Item的特定工作區域.必須符合SSZ之要求.通常其 犯較小如SMT 線.手插件區.測試區.重工區 SSP (Static-Safe Package)靜電安全包裝 Esd Protective Package (SSP)靜電放電防護包裝 能夠限制摩擦生電.屏蔽靜電場或免除靜電放電對ESDS元件產破壞的包裝 靜電防治專有名詞介紹 ESD Protective Area 靜電放電防護區域(EPA) 內涵ESDS Item的大範圍工作區域.所有人員進入時皆應穿戴適當之接地設備.且所有行為亦須遵守其相關規定 Triboelectric Charging 摩擦生電 當兩種材料接觸摩擦(Friction)或剝離(Separation)時其表面產生靜電荷的現象 靜電防治專有名詞介紹 Surface Resistance 表面電阻 以二個電極放罝於一材料表面上,加以一直流電壓(V),量測其通過之電流值(I),再計算出