气体质量与体积流量控制器.PDFVIP

气体质量与体积流量控制器 适用于洁净气体 FMA-2613A ， 图片小于实际尺寸。 FMA-2601A ， FMA-2600A 系列 图片小于实际尺寸。 该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化 PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出 （可选4 ~ 20 mA ）和RS232通讯。可通过前面板键 盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 U 20多种气体校准，包括氦气、氧气、氖气、 流量、质量流量、绝对压力以及温度均可以通过 一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化 RS232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150’) 碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氢气、丙烷、 的同一串口连接上，最多可与26台设备进行多点通 丁烷、异丁烷、乙烯、乙炔、氪气、氙气、 讯。 六氟化硫 U 同时显示压力、温度、体积以及质量流量 规格 精度: ± （读数的0.8% + 满量程的0.2%） U 简单易用的按钮界面 重复性: 满量程的±0.2% U NIST 可溯源性标准 量程比：100:1 U 满量程范围：0.5 SCCM ~ 3000 SLM 控制响应时间: 100 ms 输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232 U 常规响应时间：50 ~ 100 毫秒 输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232 U 常规量程比：100:1 可选输入/输出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc U 位置不敏感 工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C) U ±0.8%读数精度 零点偏移: 满量程的0.02%/°C 量程偏移: 满量程的0.02%/°C U 标配RS232 湿度量程: 0 ~ 100% RH ，无冷凝 附加流速: 满量程的2.4% 接液材质：303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV （橡胶）、 玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃；250 FMA-2600A系列质量与体积流量控制器在层流场中使 SLM ：416不锈钢和镍替换铜 用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流 最大压力 元件(LFE)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定， 质量流量控制器: 145 psig 在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压 使用体积模式: 使用体积模式：近大气，建议最大15 psig。 差传感器衡量LFE固定距离中的压力下降情况。同时结 体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量