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气动驱动渐变厚度变曲率反射镜技术
第 卷第 期 光 子 学 报 46 10 Vol.46No.10 年 月 2017 10 ACTAPHOTONICASINICA October2017 : / doi10.3788 zx1011002 g 气动驱动渐变厚度变曲率反射镜技术 , 1 12 1 1 1 1 1 , , , , , , 赵惠 解晓蓬 许亮 丁蛟腾 刘美莹 樊学武 王亚军 ( , ) 1中国科学院西安光学精密机械研究所 空间光学应用研究室 西安 710119 ( , ) 2中国科学院大学 北京 100039 : , , 摘 要 在完善基于有限元分析的跨平台综合优化流程的基础上 获得了反射镜最优结构参数 并通过 阶 多项式面形拟合得到球差是导致反射镜形变过程中面形精度退化的主导像差模式 根据 21 Zernike . ( , 有限元优化得到的最优结构参数研制了第二块气动驱动渐变厚度变曲率反射镜样片 口径 135mm 中 , ) 心厚度 初始曲率半径 并进行了曲率变化能力及面形精度保持试验研究 研制工艺的 8mm 2807mm . 改进使本文所研制的变厚铝合金反射镜初始面形精度优于 / ( ),当驱动气压达到约 λ80632.8nm , / ( ) 0.07MPa时 反射镜中心形变量接近37 m并且去掉球差影响后的面形精度可以优于λ40632.8nm . μ , 与前期所研制的第一块样片相比 第二块样片的中心形变能力以及面形精度保持能力均显著提升. : ; ; ; ; ; 关键词 光学变焦 无运动部件变焦 变曲率反射镜 气动驱动 变厚 薄板弹性理论 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) O439 A 1004-4213201710-1011002-11 PressurizationActuationBasedVariableCurvatureMirrorHaving
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