多层膜声表面波滤波器的优化设计-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

独创性声明 1本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取 得的研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他 人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 天津班工太学 或 其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研 究所做的任何贡献均巳在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 1 学位以制μ， 年 斜日期:汕， ，年各月/筒 学位捻文版权使用技机书 本学位论文作者完全了解 久啡理工大学有关保留、使用学位论文 的规定。特授权大哼理工大学 可以将学位论文的全部或部分内容编入 有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、 1[编， 以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门成机构送交论文的复本和电子 文件。 (必威体育官网网址的学位论文在解密后适用本授权说明) 学位以作者签名， 1包 签字日期 :μlI 年 4 月 1 日 签字日期: )..? I I 年弓月 1 日 摘要 声表面波技术是声学和电学结合的一门边缘学科。由于其特帘的性质，使其很容易 的模拟出电子学的各种功能，并且实现多功能化和小型化。声表团波滤波器就是结合了 声表团波的各种优势，在无线数据传输、通信等领域投得了广泛的应用。 近年来，随着第二代移动通汛系统的飞跑发展，对双工器和声表面波滤波器市场代 来了巨大的需求，高频、低损耗的声表面波器件成为主要的研究对象。但传统的声表面 波材料，由于其声速低，一般低于 400伽白，所以对于高顿的声表面波器件来说对于制 造叉指的光刻工艺提山了更高的要求。为了放得高频的声表面波器件我们还可以在叉指 宽度不变的前提下，提高基底材料的声墟。 GHz 颇段的高频声表面波 (SAW) 器件， SAW 波伏很短(几个 μm) ，慕片表面粗糙、缺陷和晶界均容易浩成散射产生能量损失。 所以，对于制造高频金刚石多层膜 SAW 器件来说，所关心的是 CVD 金刚石膜平面度、 光洁度，缺陷密度造成的声传播损失等，而杂质控制则是次要的要求。类金刚石 (DLC) 薄膜具有和余刚石薄膜相近的硬度、抗磨性、高电阻率、耐化学腐蚀性能，而且表面光 滑、缺陷少、沉积描度低、面积大、成本低廉、易于和集成电路兼容，所以类金刚石 (DLC) 薄膜巳成为近 20 多年来材料科学研究领域的热点。 DLC 薄膜是指一系列含 Sp3 键的非 晶态碳膜，而且其中的 Sp3/Sp2 的比例可以根据不同的应用进行调节。研究表明， Sp2 键 决定。LC 薄腆的电学和光学特性， Sp3 键决定着 DLC 薄膜的力学件能，冈此 Sp2 和 Sp3 键的比例直接影响着 DLC 薄膜的最终性能 [1-町，这些特性使其成为一种用途广泛新型 材料。 本试验利用等离子体增强化学气相沉积系统 (PECVD)制备了类余刚有薄膜，并利用 原子力显做镜 (AFM) 、傅立叶红外光谱仪(FTIR) 、拉曼光谱分析仪和紫外分光光度 计对 DLC 薄膜样品的表面形貌和微观结构进行了详细的测:盘和分析。 本论文还重点研究了声表面波滤波器和又指换能器的基本特性，并且介绍了声表团 波、叉指换能器及 SAW 滤波器的基本原理。在此幕础上论述了 SAW 滤波器的设计方法。 本课题所设计的又指结构通择了交错叉指横向滤波器和镜像阻抗连接结构，以便使 所设计的声表面波滤波器具有高阻带抑制和较低的描损。 关键词: SAW IDT PECVD DLC 多层膜 Abstract SAW technology is the combination of acoustic and electrical edge of a discipline. Because of its unique nature，it is easy to simulate the various features of e-leaming，and to achieve multitùnction and miniaturization. SAW filter is a combination of the various advantages in the wireless data transmission ，telecommunications and other areas of access to a wide range of applications. In recent years ，with the third generation of the rapid development of mobile communication systems，and SAW duplexer filters on the market to a hug