GB/T 36706-2018磷化铟多晶.pdf

ICS29.045 H 83 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT36706 2018 磷 化 铟 多 晶 Polcrstallineindium hoshide y y p p 2018-09-17发布 2019-06-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT36706 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本标准起草单位 南京金美镓业有限公司 有色金属技术经济研究院 中国电子科技集团公司第十 、 、 、 、 三研究所 广东先导稀材股份有限公司 石家庄麦特达电子科技有限公司 中国科学院半导体研究所 云 南中科鑫圆晶体材料有限公司。 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 范家骅 邢志国 杨桂芳 刘文兵 李素青 王阳 李晓岚 孙聂枫 刘惠生 、 、 、 。 赵有文 惠峰 朱刘 刘永豪 Ⅰ / — GBT36706 2018 磷 化 铟 多 晶 1 范围 、 、 、 、 、 、 、 本标准规定了磷化铟多晶的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书及订货 ( ) 。 单 或合同 内容 本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 ,