微纳加工应用工艺实践基础（中国科技大学）.pdf

中国科学技术大学 微纳研究与制造中心 微纳加工应用工艺实践基础微纳加工应用工艺实践基础 朱学林主任工程师 电子邮件: xuelinz@ 电话: 办公室：西区特种实验楼907 2016年7月 内容提要内容提要 微纳米技术介绍 微纳米技术的概念 微纳米技术的应用 微纳米加工原理和过程 微纳加工的基本概念 微纳加工的要素 方法步骤和原理 如何利用微纳加工平台 加工需求的梳理和设计讨论 加工实施形式：中心代工和自行操作 工艺疑难问题及解决方法 本讲座概述本讲座概述 • 定位 – 以我校微纳加工平台为基础，面向用户简要介绍微纳加工的基本概念、 基本原理和基本的工艺能力，让各院系学生和研究人员能够初步了解微 纳米加工，及如何利用微纳加工平台展开相关的微纳米加工。 – 讲授的内容本身不具备太多的理论和技术价值，而是更偏重于科普，以 及增加对微纳加工的感性理解。 • 听课对象及要求 – 对微纳米加工技术感兴趣者 – 我校微纳与制造中心研究新用户，以及潜在用户 – 开课安排 – 课堂教学和实验实践相结合 第一章微纳米技术介绍 •• 加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志 –– 原始人类原始人类 •• 初步掌握了纯手工打造简单工具的能力，并能够进行钻木取火，捕初步掌握了纯手工打造简单工具的能力，并能够进行钻木取火，捕 猎猎 •• 打开了人类文明时代的大门打开了人类文明时代的大门 第一章微纳米技术介绍 • 加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志 – 古代和近代的漫长历史过程中，加工技术得到了长期的积累 • 为现代工业文明奠定了基础 第一章微纳米技术介绍 •• 加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志 –– 现代社会现代社会 •• 工业革命加快了人类文明的飞速发展工业革命加快了人类文明的飞速发展 第一章微纳米技术介绍 •• 当前加工制造的发展方向当前加工制造的发展方向 –– 体积大：油轮、运输机、跨海大桥等体积大：油轮、运输机、跨海大桥等 –– 体积小：半导体芯片、微电子机械系统体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMSMEMS等等 瓦锡兰柴油机主轴，250吨 瓦锡兰柴油机，6层楼高，2446吨 第一章微纳米技术介绍 特征尺度缩小， • 当前加工制造的发展方向 催生了微纳米 技术 – 体积大：油轮、运输机、跨海大桥等 – 体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS等 第一章微纳米技术介绍 第一章微纳米技术介绍 • 什么是纳米技术 – What is nanotechnology • Nanotechnology is science, engineering, and tech