微电子学概论第十节电荷功能器件.pdfVIP

第十章第十章 电荷电荷耦合耦合器件器件 1010.11 电荷耦合器件简介电荷耦合器件简介 10.210.2 电荷耦合器件工作原理电荷耦合器件工作原理 10.3 电荷耦合器件应用 第十章第十章 电荷电荷耦合耦合器件器件 1010.11 电荷耦合器件简介电荷耦合器件简介 10.210.2 电荷耦合器件工作原理电荷耦合器件工作原理 10.3 电荷耦合器件应用 10.1 电荷耦合器件简介 第十章 电荷功能器件 光电成像光电成像器件的类型件的类型 10.1 电荷耦合器件简介 第十章 电荷功能器件 光电成像光电成像原理 光电成像系统原理方框图 10.1 电荷耦合器件简介 第十章 电荷功能器件 电荷耦合电荷耦合器件的发件的发展 左图所示为固态摄象器件左图所示为固态摄象器件 的输出信号的产生，不需加外 加扫描电子束，它可以直接由 自扫描半自扫描半导体基体上诸象素体基体上诸象素而 获得。这样的输出信号与其对 应的象素位置对应，无疑是十 分准确的，因而再生图象失真 度极小。 优点：失真度极小的摄象器 件，非常适合于测试技术和图 固态图像传感器示意图固态图像传感器示意图 象识别象识别。。它还有体积小它还有体积小、、集成集成 度高、功耗低、耐冲击和抗电 磁干扰能力强等许多优点。 10.1 电荷耦合器件简介 第十章 电荷功能器件 电荷耦合电荷耦合器件的发件的发展 固态摄象器件主要有五种类型：电荷耦合器件（CCD ）、电荷 注入器件（CID ）、MOS型图像传感器、电荷引发器件（CPD ）和 叠层摄象器件。其中以CCD应用最为广泛，所以本章主要介绍这类 固态摄象器件。 自1970年CCD 问世以来，很快在航空、航天、航海、通信、雷达、 医学、气象、电视、商业以及军事等部门得到了应用。在成象、信号 处理和存储信息等各种应用中，作为成象传感器是人们企望最高，也 是收获最大的是收获最大的一个领域个领域，人们认为人们认为它是自发展是自发展MOS技术技术以来来，半导体半导体 技术的最大突破。 10.1 电荷耦合器件简介 第十章 电荷功能器件 电荷耦合电荷耦合器件的结构件的结构 电荷耦合器件电荷耦合器件 （（ChargeCharge-CoupledCoupled DeviceDevice，简称简称CCDCCD ）），它将光敏它将光敏 二极管阵列和读出移位寄存器集成为一体，构成具有自扫描功能的图 象传感器。是一种金属氧化物半导体（MOS ）集成电路器件，它以电 荷作为信号, 基本功能