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微微电电子子学学概概论论 Introduction to Microelectronics 杨杨 红红 官官 电子科学与技术系电子科学与技术系 Introduction to Microelectronics 第第一章章 绪绪 论论 §§11.11 微电子技术的发展与应用简介微电子技术的发展与应用简介 §1.2 集成电路工艺技术的突飞猛进 §1.3 集成电路设计技术的迅猛发展 §1.4 半导体电子材料的推陈出新 §§11.55 微电子技术向其他学科的拓展微电子技术向其他学科的拓展 §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 微电子技术是研究电子在半导体器件和集成电路（IC）中的物理现象、物理规律 及其应用的技术，包括材料制备、器件结构、集成工艺、系统与电路设计、测试与封 装、器件与应用、可靠性试验等一系列的基础理论、制造实践和应用技术。 微电子技术发轫于晶体管和集成电路的发明微电子技术发轫于晶体管和集成电路的发明。 1947年12月23 日，在贝尔实验室里诞生了第一只晶体管――点接触型锗晶体管。 1950年4月，他们又制成了第一个结型晶体管。晶体管的发明，不仅是电子学发展的 一个重要的里程碑，更促进了固体物理学的蓬勃发展。肖克利（William Shockley ）、 巴丁（John Bardeen ）和布拉坦（Walter Brattain ）因为晶体管的发明于1956年获得 了诺贝尔物理学奖了诺贝尔物理学奖。。 1959年2月6 日，基尔比（J. Kilby ）向美国专利局申请了名叫“半导体集成电路” 的专利，它把大约二十几个元件“集成”在一块平板上。 此后此后，集成电路经过了小规模集成电路集成电路经过了小规模集成电路、中规模集成电路中规模集成电路、大规模集成电路大规模集成电路、 超大规模集成电路等发展阶段。集成电路的出现不仅促进了电子科学与技术本身的蓬 勃发展，更为重要的是它的应用遍及了社会生产的各个角落，直接导致了由工业社会 向信息社会的进化。 §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 1947年发明第一个点接触型晶体管（贝尔实验室） J. Bardeen W. Brattain W. Shockley 点接触晶体管：基片是N型锗，发射极和集电极是两根金属 1956年诺贝尔物理奖 丝。这两根金属丝尖端很细，靠得很近地压在基片上。金属 丝间的距离：~50μm §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 不足之处: 可靠性低、噪声大、放大率低等缺点 §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 1948年W. Shockley 提出结型晶体管概念 1950年第一只NPN结型晶体管 §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 §1.1 微电子技术的发展与应用简介 第一章绪论 §1.1 微电子