伺服就是一个提供闭环反馈信号来控制位置与转速 伺服在半导体设备中的.docVIP

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伺服就是一个提供闭环反馈信号来控制位置与转速 伺服在半导体设备中的

伺服就是一个提供闭环反馈信号来控制位置和转速. 伺服在半导体设备中的应用极其广泛,例如在涂胶机,光刻机等设备上均有,下面就关于伺服电机的相关问题作出了整理,希望在今后的工作中能带来帮助. 1.伺服电机为什么不会丢步? 伺服电机驱动器接收电机编码器的反馈信号,并和指令脉冲进行比较,从而构成了一个位置的半闭环控制。所以伺服电机不会出现丢步现象,每一个指令脉冲都可以得到可靠响应。 2.对伺服电机进行机械安装时,应特别注意什么? 由于每台伺服电机后端部都安装有旋转编码器,它是一个十分易碎的精密光学器件,过大的冲击力肯定会使其损坏。 3.如何调节伺服电机,调节伺服电机有几种方式? 答:使用Twin Line软件对电机的PID参数、电机参数、电子齿轮比等进行调节。 4.我们想用伺服电机替换产品中的步进电机,应注意哪些问题? A.为了保证控制系统改变不大,应选用数字式伺服系统,仍可采用原来的脉冲控制方式; B.由于伺服电机都有一定过载能力,所以在选择伺服电机时,经验上可以按照所使用的步进电机输出扭矩的1/3来参考确定伺服电机的额定扭矩; C.伺服电机的额定转速比步进电机的转速要高的多,为了充分发挥伺服电机的性能,最好增加减速装置,让伺服电机工作在接近额定转速下,这样也可以选择功率更小的电机,以降低成本。 5.用脉冲方式控制伺服电机的优点? 一 可靠性高,不易发生飞车事故。用模拟电压方式控制伺服电机时,如果出现接线接错或使用中元件损坏等问题时,有可能使控制电压升至正的最大值。这种情况是很危险的。如果用脉冲作为控制信号就不会出现这种问题。 二 信号抗干扰性能好。数字电路抗干扰性能是模拟电路难以比拟的。 当然目前由于伺服驱动器和运动控制器的限制,用脉冲方式控制伺服电机也有一些性能方面的弱点。一是伺服驱动器的脉冲工作方式脱离不了位置工作方式,二是运动控制器和驱动器如何用足够高的脉冲信号传递信息。 这两个根本的弱点使脉冲控制伺服电机有很大限制。 (1)控制的灵活性大大下降。这是因为伺服驱动器工作在位置方式下,位置环在伺服驱动器内部。这样系统的PID参数修改起来很不方便。当用户要求比较高的控制性能时实现起来会很困难。从控制的角度来看,这只是一种很低级的控制策略。如果控制程序不利用编码器反馈信号,事实上成了一种开环控制。如果利用反馈控制,整个系统存在两个位置环,控制器很难设计。在实际中,常常不用反馈控制,但不定时的读取反馈进行参考。这样的一个开环系统,如果运动控制器和伺服驱动器之间的信号通道上产生干扰,系统是不能克服的。 (2)控制的快速性速度不高。 6.伺服驱动器的“4”号报警是什么意思,? 答:这是电机传感器错误,或者是编码器与电机的连线没有连接好,或者是动力电源缺相。 7.伺服驱动器“2”号报警,怎样解决,需要调节哪些参数? 答:应该调节驱动器控制信号的30号角使其是高电平。 8.如何根据客户的要求为客户选配伺服电机和减速机,所选的方案应为最佳。 答:根据功率选取减速机,选出合适的减速机尺寸,在根据减速机选择合适的伺服电机,一定要注意速度的选取。 9.伺服电机通电以前应做哪些检查工作? 答:检查电机与驱动器的连线,连线不能虚连,线不能接错。 10.控制伺服时,给信号时,伺服电机不转,振动? 答:U,V,W三相接错。 步进电机与直流伺服电机、驱动器、控制器相关资料 浅谈伺服电机 伺服电动机 伺服电动机(或称执行电动机)是自动控制系统和计算装置中广泛应用的一种执行元件。其作用为把接受的电信号转换为电动机转轴的角位移或角速度。按电流种类的不同,伺服电动机可分为直流和交流两大类。 一、交流伺服电动机 1、结构和原理 交流伺服电动机的定子绕组和单相异步电动机相似,它的定子上装有两个在空间相差90°电角度的绕组,即励磁绕组和控制绕组。运行时励磁绕组始终加上一定的交流励磁电压,控制绕组上则加大小或相位随信号变化的控制电压。转子的结构形式笼型转子和空心杯型转子两种。笼型转子的结构与一般笼型异步电动机的转子相同,但转子做的细长,转子导体用高电阻率的材料作成。其目的是为了减小转子的转动惯量,增加启动转矩对输入信号的快速反应和克服自转现象。空心杯形转子交流伺服电动机的定子分为外定子和内定子两部分。外定子的结构与笼型交流伺服电动机的定子相同,铁心槽内放有两相绕组。空心杯形转子由导电的非磁性材料(如铝)做成薄壁筒形,放在内、外定子之间。杯子底部固定于转轴上,杯臂薄而轻,厚度一般在0.2—0.8mm,因而转动惯量小,动作快且灵敏。 交流伺服电动机的工作原理和单相异步电动机相似,LL是有固定电压励磁的励磁绕组,LK是有伺服放大器供电的控制绕组,两相绕组在空间相差90°电角度。如果IL与Ik 的相位差为90

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