COMSOL_V4培训Plasma_2011-01-06_FeitV100.pptVIP

COMSOL Multiphysics模拟GEC ICP反应器 GEC电池是NIST设计的参考标准电池 ，用于研究等离子体和基准模拟 气体是氩气，压强是20mtorr 考虑以下化学反应： 案例 5匝线圈，100A，13.56MHz 圆片基座 介电材料 等离子体在此处形成 GEC ICP反应器 案例：ICP模型 GEC ICP反应器中反应气体为氩气时的电子密度和电子“温度” 气压为20mtorr GEC ICP反应器中反应气体为氩气时的功率沉积和等离子体电势 气压为20mtorr 案例：ICP模型 GEC ICP反应器中反应气体为氩气时的线圈阻抗和的总功率损耗 当等离子体由于感应电流而打开时，线圈阻抗增加 等离子体关 等离子体开 等离子体点火 等离子体关 等离子体开 等离子体点火 案例：ICP模型 案例：介质阻挡放电 两个介电盘隔开一个小间隙(0.1mm) 正弦电压施加在一个盘上，另一个接地 等离子体周期性地在间隙中形成 – 间隙从绝缘体转变为导体 案例：介质阻挡放电 被激发的氩的质量分数和电子密度的拉伸图 Y轴代表时间，x轴代表空间 相对于被激发的氩，电子快速涌现至表面 案例：介质阻挡放电 电场和平均电子能量的拉伸图 y轴代表时间，x轴代表空间 由于表面电荷累积，电场被等离子体屏蔽 图为射频周期不同阶段的电势和电场 相对于壁面，等离子体主体有正电势 案例：CCP反应器 图为射频周期不同阶段的电子密度和功率沉积 电子在电场作用下来回溅射。当外加电压为零时，功率沉积达到峰值。 案例：CCP反应器 中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd--- Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ 中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd--- Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ 中仿科技技术部 鲍伟 Feit Bao 等离子体（Plasma）模块 COMSOL培训 LIVELINK? FOR PRO/ENGINEER ? LIVELINK? FOR AUTODESK? INVENTOR? CAD IMPORT MODULE LIVELINK? FOR MATLAB? 优化 OPTIMIZATION MODULE 材料库 MATERIAL LIBRARY LIVELINK? FOR SOLIDWORKS ? COMSOL MULTIPHYSICS? 低频电磁场 AC/DC MODULE 高频电磁场 RF MODULE 微机电 MEMS MODULE 等离子体 PLASMA MODULE 结构力学 STRUCTURAL MECHANICS MODULE 声学 ACOUSTICS MODULE 传热 HEAT TRANSFER MODULE 计算流体力学 CFD MODULE 化学反应工程 CHEMICAL REACTION ENGINEERING MODULE 电池与燃料电池 BATTERIES FUEL CELLS MODULE 地球科学 EARTH SCIENCE MODULE COMSOL Multiphysics等离子体模块 什么是等离子体？ 定义 等离子体是显示集体效应的带电粒子、中性物质和场的导电性集合。 工业应用 照明 半导体 军事 涂覆 … 等离子体模块用于非核，低温等离子体（非平衡态放电） 以下为最常见的等离子体类型： 感应耦合等离子体（简单） 直流放电（简单，磁场增强困难） 微波等离子体（中等，ECR困难） 电击穿（困难） 容性耦合等离子体（困难） 联合ICP/CCP反应器（ ） 增加模拟难度 上述每种等离子体中，能量从电磁场转移到电子的机理都不相同。 等离子体的类型 等离子体 v.s. 磁流体动力学 (MHD) 等离子体和气体处于局部热力学平衡态时不需要等离子体模块（此时气体温度等于电子温度）。 很多人会认为他们需要等离子体模块解决MH