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薄膜材料的表征方法-16-2012_PPT课件
*;*;*;*;*; 台阶上下沉积一层高反射率的金属层
覆盖半反射半透明的平板玻璃片
单色光照射,玻璃片和薄膜之间光的反射导致干涉现象
光干涉形成极大的条件为S=1/2(N-1)λ
在玻璃片和薄膜的间距S增加ΔS=λ/2时,将出现一条对应
的干涉条纹,间隔为Δ0。
薄膜上形成的厚度台阶也会引起光程差S的改变,因而它会
使得从显微镜中观察到的光的干涉条纹发生移动。
条纹移动Δ所对应的台阶高度应为h=Δλ/(2Δ0)
测出Δ0和Δ,即测出了薄膜的厚度;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*
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