纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计说明书.docVIP

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2018-05-21 发布于四川
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大学毕业设计（论文）题目纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计学生姓名：学生学号：指导教师：机械工程学院机械设计制造及其自动化专业2 班 2011年6月15日毕业设计（论文）任务书专业机械设计制造及其自动化班级姓名下发日期 2011-3-6 题目纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计专题主要内容及要求大面积纳米压印光刻机是一种高效、高精度、低成本制造微纳米结构精密装备，是生产高密度磁盘、高亮度LED、微流体器件、微光学器件的核心设备，针对步进重