- 1、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
alcuf e薄膜的组织调控及其性能分析word格式论文
优秀毕业论文 精品参考文献资料 上海工程技术大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留 并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人 授权上海工程技术大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 必威体育官网网址□,在 年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不必威体育官网网址□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 Al-Cu-Fe 薄膜的组织调控及其性能分析 摘 要 Al-Cu-Fe 薄膜具有很多优异的性能,如低的电和热传导性能、高的硬度、低的摩 擦性能和良好的抗氧化性能,同时 Al-Cu-Fe 原料易于获得且价格便宜而引起很多研 究者的兴趣。目前对于 Al-Cu-Fe 薄膜的组织结构及其性能有较多的研究,但对于 Al-Cu-Fe 薄膜的生长机理还不是很完善。外加磁场制备 Al-Cu-Fe 薄膜并对其组织进 行调控还鲜少有人进行研究。 本文以 Si 111作为基底,采用外加磁场磁控溅射的方法对 Al-Cu-Fe 的成分、 组织结构及性能进行调控。通过对外加磁场的强度,溅射功率和溅射时间进行控制来 制备 Al-Cu-Fe 薄膜,探讨外加磁场下薄膜的生长机理。并通过后续的退火处理对 Al-Cu-Fe 薄膜的相转变进行调控。研究不同退火温度和时间对薄膜的组织转变的影响。 采用 X 射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),能谱仪(EDAX),原子力显微镜(AFM),划 痕仪等仪器对薄膜的组织结构及力学性能进行测试分析。主要结论如下: 在外加磁场磁控溅射制备 Al-Cu-Fe 薄膜的过程中,可以得出以下结论: (1) 在外加磁场条件下,溅射粒子受到磁场力的作用,薄膜中的 Al、Cu、Fe 元 素含量变化明显。在磁感应强度由 0T 增加到 0.4T 的过程中,薄膜中 Al 的含量由 60.38% 降至 0.4T 时的 54.34%,Cu 的含量由 29.01%增加到 32.57%,Fe 的含量由 10.61%增 加至 13.09%; (2) 不同磁场强度下,由于室温下薄膜的扩散不明显,薄膜的组织结构变化不是 很明显,主要是 Al4Cu9 和 Al2Cu 相; (3) 外???磁场下制备的薄膜,致密性提高,薄膜的沉积速率增大,随着磁场强度的 增加,Al-Cu-Fe 薄膜颗粒细化,由 24.6nm 减小到 22.2nm。表面粗糙度增加,Al-Cu-Fe 薄膜与基底间的结合力增大,摩擦系数降低。 (4) 在外加磁场下制备的 Al-Cu-Fe 薄膜,溅射时间不断延长,薄膜平均颗粒尺寸 先增大后减小,Al-Cu-Fe 薄膜的粗糙度不断增大;溅射功率不断增加时,薄膜的平均 颗粒尺寸减小,粗糙度变化不是很明显,略有减小。 I II (5) 600℃下退火 4h 后,薄膜的成分主要为β-AlCu(Fe)相和ω-Al7Cu2Fe 相,在 800℃ 开始有 I-QC 相形成,随着温度的升高β-AlCu(Fe)相含量减少,ω-Al7Cu2Fe 相的含 量增加; (6) Al-Cu-Fe 薄膜与基底间的结合力,随着温度的升高而减小,由退火前的 9.5N 降低到 2.58N。未加磁场下制备的薄膜的结合力随退火温度的升高,先增大后减小。 (7) 外加磁场为 0.3T 下制备的薄膜,经 600℃退火 4h 后,薄膜与基体的附着力 7N,摩擦系数为 0.025。该工艺下得到的薄膜的综合性能较好。 关键词:外加磁场,磁控溅射,Al-Cu-Fe 薄膜,组织调控,退火 III MICROSTUCTURE CONTROL OF AL-CU-FE THIN FILMS AND THEIR PERFORMANCE ANALYSIS ABSTRACT Al-Cu-Fe thin films have many attractive performances, such as low electrical and thermal conductivity, high hardness, low friction coefficient and well antioxidant prope r- ties as well as the materials of Al-Cu-Fe are cheap and easy to get. Recently, there are lots of reports of the microstructure and properties about Al-Cu-Fe thin films, but the growth me
您可能关注的文档
- al ca添加对mgalcamn合金组织和力学性能影响word格式论文.docx
- al mg 合金化学机械抛光表面粗糙度及防氧化腐蚀的研究word格式论文.docx
- akt1对pms2蛋白的靶向调节作用及卵巢癌铂类耐药的机制分析word格式论文.docx
- al 2o 3zro 2y 2o 3复合陶瓷刀具材料的制备 力学性能及切削性能分析word格式论文.docx
- al 2o 3zro 2y 2o 3复合陶瓷刀具材料的制备 力学性能及切削性能研究word格式论文.docx
- al 2o 3sicc免烘烤铁沟捣打料性能的分析word格式论文.docx
- al mn ti p cu中间合金及mg对al 2551合金组织与性能的影响word格式论文.docx
- al 2o 3sicc免烘烤铁沟捣打料性能的研究word格式论文.docx
- al zn mg合金焊接接头疲劳裂纹扩展特性研究word格式论文.docx
- al zn mg cu zr合金组织性能和断裂行为的研究word格式论文.docx
- alcti体系自蔓延焊接钛合金实验分析word格式论文.docx
- alc1与ezh2在肝癌中的表达及其相关 性研究word格式论文.docx
- alcucom准晶合金的制备及催化环己烯氧化性能研究word格式论文.docx
- aldh1 periostin在子宫内膜癌组织中的表达及临床意义word格式论文.docx
- aldh1highcd44 cd24 low细胞含量与乳腺癌临床相关性研究word格式论文.docx
- alcu体系扩散过程的分子动力学分析word格式论文.docx
- aldh1和tgfβ2在乳腺癌中的表达及预后研究word格式论文.docx
- aldh1在子宫肌瘤细胞中的表达及atra对colcolcolⅰ和fn表达的影响word格式论文.docx
- aldh1在子宫肌瘤细胞中表达及atra对colcolcolⅰ和fn表达影响word格式论文.docx
- alcu体系梯度复合材料的流延法制备及其结构控制word格式论文.docx
文档评论(0)