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电容式触摸屏之工艺 林锑杭 物理电子学 121120013 前言 传说，在很久很久以前手机很少是触屏的，大部分是按键的； 乔布斯卖苹果看生意不怎么景气，就想去卖手机，可是卖了一段时间好像也并不怎么挣钱；乔布斯边走边叹气，突然被一块飞碟砸中了，原来是一个淘气的小男孩把一电阻式触摸屏拆下来当飞盘，大抵是因为摔不坏；乔布斯本应该大发雷霆好好得教育这小男孩一顿，可惜定眼一看这不是诺基亚手机触摸屏吗？灵机一动，也忘了教训那小男孩，乔布斯就想以这触摸屏为突破口，抢占市场。 前言 可是，把触摸屏用在手机上又不是首创，别人也做过，也就只是短期的新鲜感，并不能转化成大把大把的money啊！乔布斯就想怎么解决这问题。 乔布斯不愧是卖苹果长大的，想要让市场接受，不能仅仅靠新鲜感，而应该把它变成必需品，变成常态； 乔布斯召唤他的团队，技术，销售，后勤；他先开发必须用触摸屏才能玩的游戏；愤怒的小鸟、切西瓜、神庙逃亡；靠，这些东西不用触摸屏基本上不能玩，于是人们为了玩这这些游戏，都去买苹果了。 后来买的人多了，生意好了，乔布斯再也不去地摊卖苹果了。 前言 这两三年来在手机手机上的一个显著变化就是手机都变成触屏的。我个人是比较喜欢按键的。 就本质上说，触摸屏就是一种输入设备，这与键盘是一样的；就形式上说，把触摸屏放大一下，我靠，原来就是矩阵键盘啊。不是4X4,而是640X320，甚至1136x640。 矩阵键盘 前言 故事还没完； 在乔布斯卖苹果的时候，他就喜欢跟人吹嘘他的苹果比较大，比较甜，卖手机的时候也不例外，他就喜欢跟人比谁的手机薄。 三星这坑爹的孩子把OLED给垄断了，做的手机贼薄贼薄，乔布斯看得那一个气啊，可惜OLED是人家的，偷不过来。乔布斯又以被砸一次的代价想到了触摸屏，乔布斯把触摸屏塞到LCD的glass里，这还不解气，又塞到像素点上；随着三星一脸的鄙夷，苹果大叔有胜利了。 展望 CNT OLED IN-CELL Content 1、清洗/涂布技术解析 2、曝光/显影技术解析 3、蚀刻/剥膜技术解析 4、材料解析 5、检测技术解析 6、日常使用工具 7、异常处理 涂布类型：roll，slit，spin 光阻类型：正光阻，负光阻 Roller coating defectPinhole Mask类型：乳剂型光罩(菲林Film mask/干版Emulsion mask) 铬膜型光罩(铬版Chrome mask)→苏打玻璃，硼硅玻璃（低膨胀玻璃），石英玻璃 KOH TMAH ITO Etchant type：1）KCL/HCL,FeCl3/HCL；2）HNO3/HCL；3）C2H4O2 KOH NMP 3316 SP-03 ITO：150Ω/□ @150?Metal : 0.4 Ω/□ @ 1um 1. 清洗/涂布技术解析 清洗：通过磨刷、脱脂药液及清水的清洗移除玻璃基板上的污染物、微粒、減少針孔和其他缺陷，提高玻璃与光阻的结合能力 清洗機的作用為光阻塗布前將玻璃洗淨，具體洗淨方式如下表所示。 清洗一般分有如下幾個洗淨段：Brush、US、BJ、HP 、AK 、IR、UV、AP (Plasma) 等。 各製程洗淨工程重要等級說明 1. 清洗/涂布技术解析 US（超聲波清洗） 超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。 （1）空化作用：空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时，液体中产生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力，由此剥离被清洗物表面的污垢达到洗净目的。 （2）直进流作用：超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。通过直进流使被清洗物表面的微油污垢被搅拌，使溶解速度加快，对污物的搬运起着很大的作用。 （3）加速度：液体粒子推动产生的加速度。 BJ（水氣混合噴洗，二流體噴嘴） 二流體是利用壓縮空氣高速流動，使液體微粒化的噴嘴。 二流體噴嘴的特性，是比一流體有更佳的噴霧粒徑，更高速的噴霧速度，以及有更小的流量。 二流体喷嘴的优点： A.微粒化1性能佳 B.微粒化的喷雾粒径较一般喷嘴小，是为“雾状洗净” C.利用空气的压力可提升洗净速度 D.与同一水量的一般喷嘴比较，有较大的异物通过径，故能防止阻塞 UV洗净 Plasma（等离子电浆体） 四種物質狀態的比較 ※等離子電漿體處理的作用： 由於碰撞，比較重的離子能量，可以運動性地作用。 由反應性高的離子化氣體，可促進化學性作用。 由於易與表面的污垢反應，可促進熱性的作用。 等離子電漿體法由於這三種作用組合，