第五章真空计-Mipaper.PDFVIP

第五章 真空計 傑 Outline  真空計度量引言  機械式真空計  熱傳導的真空計  離子真空計 真空計度量引言 引言 壓力量測範圍： 1atm~10-16torr 。  1920年代：粗真空1013~0.001mbar, 壓力計、水銀壓力計、壓縮式、麥式 。  1960年代：中、高真空1013~10-9 mbar, 高真空：離子真空計 。  2000年代：中、高、極高真空1013~10-13 空計。 定義  類可分為直接壓力計與間接壓力計。  俗稱絕對壓力計。  係數等。 真空計分類 壓力顯示與氣體無關之真空計。  直接壓力量測 單位面積所受的力。  與摩爾質量無關。 壓力顯示與氣體有關之真空計 。 間接壓力量測。  利用氣體與壓力之相關性。  與摩爾質量有關。  高真空往超高真空的旅程 真空計分類 直接式真空計 固體面 ( Solid wall ) 液面 U—型管 膜盒真空計 波爾登管 輻射式真空計 電容真空計 真空計分類 間接式真空計 動量轉移 電荷產生 (黏 滯 性) (電 離化 ) ( 石英絲 轉球黏滯 離 子 冷 極 放射性 熱 黏滯計 真 空計 真空計 真空計電離計 真空計量測範圍 真空計選用要點 壓力範圍。 外在環境。 感測元件之工作條件。 便利性。  維修及保養。 機械式真空計 引言  直接量測壓力之真空計。 包括：壓力天平、液位壓力計 …。 壓力天平  基本原理： 液位壓力計  基本原理： 各種液位壓力計 壓縮式真空計  基本原理：  算出其最終壓力。 壓縮式真空計 彈性元件真空計  構造：  對金屬管的變形量轉移到指針 式放大。 包登管  莢艙式  隔膜式 包登管 包登管  基本原理： 包登管 量測範圍：• •特性： •粗略壓力指示，堅固、耐用 •壓力指示隨不同氣體組成與種類變化 •可量測大於一大氣壓之壓力 •受大氣壓力大小影響，誤差常在 10%左右 莢艙式壓力計 莢艙式壓力計 基本原理： 莢艙式壓力計 量測範圍：• •特性： 隔膜式真空計 隔膜式真空計 基本原理： 隔膜式真空計 量測範圍：• •特性： 電容式真空計 電容式真空計 基本原理： 一區域為已經知道其壓力值, 值的誤差，Capacitance Manometers: 溫度的控制必須非常注意。 電容式真空計 基本原理： 電容式真空計 量測範圍：• •特性： 熱傳導式真空計 引言  斷氣體的壓力。  當