R2D标准操作规程.docVIP

1 目的 1.1 为确保设备正常进行，符合技术要求。 1.2 为本工序生产人员提供基本的技术指导文件。 2 范围 2.1 适用于扩散车间内R2D机台操作。 2.2 本文适用于扩散从事生产操作岗位人员。 3 职责 3.1 由电池设备部设备人员制定本文件，如需要修改，由电池生产部工序长提出本文件的修改申请。 3.2 电池生产部生产人员必须严格按照本文件的规定进行操作。 3.3 品管部负责按照本文件要求对生产人员进行检查、监督。 4 设备、工模具、材料 4.1 设备 R2D机台。 4.2 工模具 抬舟手柄、石英舟。 4.3 材料 PVC手套、口罩、全面罩。 5 内容 5.1 R2D机台基本介绍 R2D机台是用于生产时，装载以及卸载产品的机器。如图一。 图一 机台 编制： 校对： 审核： 标准化： 批准： 发送部门 份 数 图二 机台介绍 在使用R2D之前，一定要熟悉机台各个部件。R2D有三个冷却架，及三个shelf,由下往上是 shelf_1、shelf_2、shelf_3，用于石英舟备料或者冷却炉体内出来的高温石英舟。4个机台按钮、一个急停按钮、一个轨迹球鼠标、一个键盘和一台标准PC机。 5.2 软件介绍 图三 软件界面介绍 如图三所示，各个按钮功用。 5.3 操作规程 上料准备：上料手柄准备（手柄必须完好无损）、满载硅片的完好石英舟。 上料：拉起上料手柄的当片，使用石英舟套在两个孔当中，方下当片，测试手柄是否会脱落。在不会脱落的情况下，轻抬起石英舟，轻放与Shuttle上面，在放的时候，需保持石英舟与shuttle的平行（如图四），石英舟脚均匀的放于shuttle的挡板两侧（如图五），并轻抬靠近炉体的一方，看松紧程度是否合适（如果太紧，容易造成石英舟的舟脚断裂或隐裂）。） 图四 平行抬舟 图五 舟脚均匀的放置 加载：将机台控制模式切换为自动状态下，点击加载按钮（如图六），如果有空闲炉管，物料则自动加载进炉体，进行工艺。在炉管完全为工艺状态时，则加载到shelf上面，进行待料状态，直到炉管待料时，进行自动加载。 图六 基本按键 卸载：在物料工艺完成出舟并在shelf上冷却过后，需要卸载的情况下，点击start按键（如图六），机台开始自动卸载物料。 注：以上5.3全是在自动状态下执行。 手动卸料和加载物料：在手动状态下，可以将物料送如任意空闲位置。如图七和图八，在手动选择好位置过后，点击go按钮即可运行。 图七 起始位置选择 图八 终点位置选择 6 安全及注意事项 操作人员注意事项： 操作人员在操作前需接受相关技术培训并得到允可才能进行操作； 操作时需要注意不要过于毛躁，在确认石英舟安全的套上手柄过后，才能抬起石英舟，在搬动时，轻抬轻放； 操作人员在设备运行过程当中，勿接近传动部件； 如果出现以外事故，可以使用暂停按键或者急停按钮； 在出现报警如：memory mismatch for boat shelf 时，应检查石英舟舟脚是否压住感应sensor，如果没有压住，则调整石英舟的位置，使其压住sensor； 在操作过程当中，如过遇见不能处理的问题，应通知当班设备人员解决； 7 支持性文件 生产安全管理制度； 扩散间安全操作手册； 紧急事件处理方案及其注意事项； 8 更改记录 版次 条款 更改内容说明 更改日期 更改人 天威新能源（成都）电池有限公司 文件编号 版 次 扩散车间R2D标准操作规程 生效日期 第3页 共6页 开始卸载 行动指示 暂停/重新开始 加载按键 平行的抬舟 加载终点位置 复位按钮 暂停按钮 模式转换按钮 加载起始位置 停止按钮 信息窗口 炉体及其状态 冷却架shelf及其状态 运行按钮