紫外光处理机-DMS-制程管制标准书.docVIP

0. 目录 1. 范围 2. 目的 3. 权责 4. 名词定义 5. 生产条件 5.1 RECIPE设定 5.2 机台参数设定 5.3 管制项目与规格 6. 参考文件 7. 使用表单 范围 1A Array Etch区。 适用人员：Etch区机台进行之Operator Engineer。 适用机台 Fab Machine ID. Process 1A A1 目的 本文件主要目的在订出紫外光处理机（）制程之制程管制项目与规格，用以确保制程的稳定性并规范管制项目异常时的处理方法与步骤，以做为蚀刻工程部人员在建立产品生产条件或管理项目时，有依循之依据，期能快速导入生产条件，使生产管理步入轨道，而能达质量管理之要求。权责 此规范适用于机台之设备、制程工程师，保养修护人员，及值班工程师。 名词定义 ：Excimer Ultraviolet 生产条件 生产条件是生产机台相当重要的设定项目。为保持机台稳定运行以及产品质量的稳定，经承认后的生产条件是不得任意进行变更。RECIPE设定 由于生产条件不同需求，本机台具有不同Recipe设定。生产时，将依生产条件需求自动选择合适Recipe进行生产。Recipe内容未经许可，不得随意变更。 ecipe设定 RECEIPE：1 Tact ime：40 sec Recipe Items Value ID 1 COMMENT _1499ASH01 TACT TIME(sec) 40 CONV SPEED LOW (mm/min) 3000 CONV SPEED HIGH (mm/min) 6000 EUV1 ON/OFF ON EUV2 ON/OFF ON EUV3 ON/OFF. ON 机台参数设定 Items Option Value 1. JOB MODE PROCESS MODE 2. USE EUV USE 3. EUV1 LIFE TIME 1000hour 4. EUV2 LIFE TIME 1000hour 5. EUV3 LIFE TIME 1000hour 6. EUV1 LIFE TIME CHECK CHECK 7. EUV2 LIFE TIME CHECK CHECK 8. EUV3 LIFE TIME CHECK CHECK 9. GLASS SIZE 1300mm 10. MAX GLASS NO 4EA 11. C/V TIMEOUT DISTANCE 60mm 12. UL UNIT C/V STOP DISTANCE 30mm 13. AGING MODE NO CHECK 14. INITIALIZE TIME OUT 180sec 15. IDLE MODE WAIT TIME 0min 管制项目与规格 MQC项目与规格 MQC即Machine Quality Control，指为保证机台能够正常运转，所做的定期检查项目，属于管制项目之一。 EQ ID Item Frequency Spec(OOC) Spec(OOS) QEUVCTM Contact Angle 1pcs/1week 8° 10° QEUVPTM Particle 3pcs/1week Δ(S+M+L) 250 Δ(S+M+L) 300 IPQC项目与规格 无 管制项目异常处理流程 机台R设定异常 机台R设定与机台参数设定不得自行变更，若发现设定有变更，表示机台发生异常，则应立即通知工程师处理，以免持续影响产品质量。MQC异常 当MQC 异常时，表示机台状况异常。MQC首次出现异常时(OOC或OOS)，Operator要马上通知工程师，并且立即做第二次MQC量测，如果测量结果正常则可继续生产；倘若第二次测量仍然不良，则设备马上停机，待工程师查找异常原因，并且排除异常后，再进行MQC量测，直到MQC测试正常后方可以继续生产。 规格判定 A机台开机点检规格请参考文件Q-7-02-0-010【(DMS)保养指导书】。 B MQC检测规格请参考本文5.3.1.1 MQC项目与规格。 参考文件 Q-7-02-0-010紫外光处理机(DMS)保养指导书 Q-7-01-0-010(DMS)操作指导书 使用表单 无 InfoVision Optoelectronics ( Kunshan ) Co.,LTD. IVO LOGO 文件名称 紫外光处理机(DMS)制程管制标准书 第7页;共7页 文件编号 制修日期 200/05/02 版本 0 制订 部门 Arr