X射线能量色散谱仪简介PPT.pptVIP

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2018-04-06 发布于境外
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X射线能量色散谱仪简介PPT.ppt

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X射线能量色散谱仪简介PPT

报告人：韩璐;内容提要;EDS可与EPMA、TEM、SEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器。;特征X射线的产生内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，多余的能量以特定波长的X射线光量子的形式放出就是特征X 射线。;检测过程;定性、定量分析依据; E = hγ= Ry×Z2(1/n12-1/n22) （h普朗克常量，γ为光子振动频率,Ry为里德堡常数，Z为原子序数，n1、n2 是跃迁壳层电子始态、终态所处的主量子数）不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，因此只要测出不同光子的能量（即γ 频率），即可确定元素。; ;半定量分析原理;EDS的能量分辨率;探测极限;EDS的分析精度;X射线能谱仪的基本功能;能谱分析的条件要求;不导电样品的问题;薄膜、小颗粒样品对U的选择; 谢谢大家！