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电子显微镜简述 电子显微镜，简称电镜，是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。1931Knoll和Ruska获得了放大12-17倍的电子光学系统中的光阑像，证明可用电子束和电磁透镜得到电子像。1931-1933年， Ruska等做出了世界上第一台透射电子显微镜。 Ruska因此获得了1986年的诺贝尔物理学奖。 电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析；发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。…Mn，可达10 6 ~107所谓衬度，即是像面上相邻部份间的黑白对比度或颜色差电子显微图像的衬度主要包括质厚衬度（衬度）、衍射衬度、相位衬度和Z衬度。质厚衬度由样品中不同区域的平均原子序数或厚度存在差异而引起的衍射衬度由样品内不同区域的晶体学特征存在差异而引起的也可以认为是由于晶体薄膜的不同部位满足布拉格衍射条件的程度有差异而引起的衬度相位衬度由于样品调制后的电子波存在相位差异而引起的。（TEM，亦称投射式电子显微镜）在一个高真空系统中，由电子枪发射电子束，穿过被研究的样品，经电子透镜聚焦放大，在荧光屏上显示出高度放大的物像，还可作摄片记录的一类最常见的电子显微镜透射电镜的总体工作原理是：由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多；经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。 SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 观察颗粒形态、大小以及表面形貌X射线能谱仪是利用x射线的能量对试样进行微区分析的仪器。在电子的作用下，不同元素产生的X射线有不同的能量特征——特征X射线，可用来鉴别不同元素。其主要应用于定性分析（根据峰的能量位置，确定元素）、半定量分析（粗略地测定各元素含量的趋近值，可测各元素含量的相对比值X射线强度与已知标样的X射强度相比测出含量）等，例如应用于分析聚合物中杂质的化学成分。 总之，电子显微镜以其超高的分辨率而优于光学显微镜，使其广泛的应用于医学、材料、化学、生物等诸多领域，已成为现代科学研究必不可缺少的科研工具。但电子显微镜由于其特殊的系统结构，使其在使用上也有一定的限制，例如：不能像光学显微镜一样直接的观察液体样品，因此它在样品制备方面有这一些特定的要求。在使用过程中需要根据不同的样品采取不同的制样方法，以适合于电镜分析的要求来达到良好的肩颈分析目的。