真空自耗电弧炉真空系统的检漏.pdfVIP

第 卷第 期 Vol.45,No.3 45 3 真 空 VACUUM 年 月 May.2008 2008 5 真空自耗电弧炉真空系统的检漏 李军仁,付宝全,李 强,周 涛,葛正福 (西部超导材料科技有限公司,陕西 西安 ) 710021 摘 要:主要论述了用于生产钛及钛合金铸锭的真空自耗电弧炉真空系统的组成与特点,针对钛、钛合 金的冶金特点及生产实际,阐述真空系统漏率对于生产钛、钛合金的意义;应用必威体育精装版技术的莱宝 300型检 漏仪,对真空系统进行了测漏,总结了检漏方法,此法对真空自耗电弧炉真空系统或类似的真空设备测点 的设计、检漏具有指导意义。 关键词 :钛合金 ;真空;漏率;逆流特性;氦质谱检漏仪 中图分类号: ; ; 文献标识码: 文章编号 : ( ) TF132TB753TB773 B 1002-0322200803-0037-03 Leakdetectionforvacuum consumablearcfurnace LIJun-ren,FUBao-quan,LIQiang,ZHOUTao,GEZheng-fu ’ (WesternSuperconductingMaterials/TechnologiesCo.,Ltd,Xian710021,China) Abstract:Discussestheconstructionandcharacteristicsofthevacuum system ofvacuum consumablearcfurnaceandthe importanceofvacuum leakageratetotheproductionoftitaniumandTi-alloysinaccordancetotheirmetallurgicalproperties. Summarizesthemethodtodetecttheleakageofthevacuum system ofthefurnacebyuseofthelatestLeybold-300leak detector.Themethodisofguidingsignificancetothevacuum systemsofconsumablearcfurnacesandsimilarsystems, includingthelayoutofmeasuringpointsindesign. Keymords:Ti-alloy;vacuum;leakagerate;counterflow;heliummassspectrometerleakdetector 钛元素具有高的化学活性,钛在高温下能 电弧无法生成;太高的压力,炉室中的气体对产 与氧、氮、氢及其它气态化合物发生反应,大量 品的质量造成危害,失去精炼的意义。科研及多 气态化合物被钛吸收生成钛的化合物,引起钛 年的生产实践已证明:熔炼钛及钛合金的炉室压 的严重缺陷,在钛的熔融状态下,这些反应更为 力最佳范围为 0.13~10Pa,生产工艺决定了真空 剧烈;而在一定条件下进行的真空熔炼,对于有 系统的配置。 气态物质生成的冶金反应都起 良好 的促进作 用。在真空下熔炼钛及钛合金对于钛及钛合金的 脱气、分解、挥发、和脱氧过程要比在大气压下进 行的更加充分,能够获得更好的精炼效果,因而, 钛、钛合金的生产必须、而且只能在一定