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纳米材料制备——物理制备方法
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV 纳米材料制备 ——物理制备方法 王海容 whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术之IV 纳米材料 纳米材料的定义和分 类 纳米材料制备 纳米材料结构 纳米材料的特性 纳米材料制备 纳米材料应用 纳米加工 电子束曝光 纳米测量 聚焦离子束加工技术 透射电子显微镜 纳米压印 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 X射线衍射分析 原子力显微镜 扫描探针显微镜 超精密加工 … … 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术之IV Content 一些真空基础知识 纳米材料制备技术简介 纳米材料的物理制备方法 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术之IV 大气压(atm): 标准的大气压力定义为1 atm 帕(Pa): N/m2 (常用单位:Pa) Million 巴(Bar): Dy/cm2, (常用单位:mBar) 托(Torr):1/760 atm, (常用单位:Torr) 粗真空 : 1 - 10-3 Torr -3 -5 中等真空 : 10 - 10 Torr -6 - 10-8 Torr 高真空 (HV) : 10 超高真空 (UHV) : 10-9 Torr 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术之IV 空气密度与压力的关系
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