多晶硅还原炉温度开环控在HONEYWELL系统上的创新运用.docVIP

论文题目：多晶硅还原炉温度开环控制在HONEYWELL -TPS系统上的创新运用 姓 名： 牛 国 刚 身份证号： 所在单位： 四川瑞能硅材料有限公司 编写时间： 2016年12月12日 多晶硅还原炉温度开环控制在HONEYWELL -TPS系统上的创新运用 引言 多晶硅材料是太阳能电池组件中光电转换的重要材料，1955年，德国西门子开发出以H2与高纯SiHCl3，在加热到1100℃的硅芯 上沉积多晶硅的生产工艺;1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用于工业化生产，被外界称为“西门子法”。改良西门子法是在传统的西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。 还原炉是生产多晶硅材料的重要设备，而还原炉炉内温度控制是整个还原沉积过程重要的参数，温度控制的精度直接影响太阳能级“硅(Si)”材料的生产安全、沉积效率、成品质量等因素。多晶硅产能3000T/a工控DCS系统选用Honeywell（霍尼韦尔）－TPS系统，TPS系统能够实现生产过程中的时时数据及过程控制，工艺操作员根据TPS系统温度一次仪表的检测数据来给AEG电控系统的电流值完成对还原炉温度的控制。还原炉温度控制需要工艺操作员根据炉内测量温度调节还原炉电控电流。这种时时调整工艺控制参数的监控模式不但工作量大，而且控制过程中容易出现因人为因素造成的设备故障、质量问题及产能异常。 一、多晶硅还原炉温度控制方案 为提高工艺的运行稳定与生产效率，提出对现有TPS系统进行技术改造来实现还原炉温度自动化控制方案。 方案一：闭环控制方案。通过测控一次测量仪表（红外线温度计流量计流量计控制开环控制 四、开环控制数据还原安全重大突破，核心竞争力提高。出现的问题，收集，，及时修正， 9