电脑接触式干涉仪.PDF

6 [19]中华人民共和国国家知识产权局 [51]Int.CI G01B 9/02 [12]实用新型专利说明书 [21]ZL 专利号 9 [45]授权公告日 1999年1月6日 [11]授权公告号 CN 2303267Y [22]申请日 97.6.9 [21]申请号 9 [73]专利权人 南京理工大学 [74]专利代理机构 南京理工大学专利事务所 地址 210094江苏省南京市孝陵卫200号 代理人 张骏鸣 [72]设计人 王青 陈磊 陈进榜 高志山 朱日宏 刘 晖 葛爱民 朱煜 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页 [54]实用新型名称 电脑接触式干涉仪 [57]摘要 本实用新型公开了一种电脑接触式干涉仪,它 采用了乌氏干涉仪为干涉成像系统, 以CCD摄像机、 图像捕获器、运算加速器、计算机以及手动开关构 成图像采集与处理系统。由计算机控制,可实现 自 动定度、自动判读和数据 自动处理,速度快,精度高, 避免了现有技术中人工定度与判读带来的人为误差, 极大地提高了工作效率,是一台光、机、电、算相 结合的智能化电脑接触式干涉仪,可广泛用于企事 业单位的长度计量测量。 9 权 利 要 求 书 第1/1页 一种电脑接触式干涉仪，它的光学部分采用乌氏光学干涉系统，其特征是它的 图像接收与处理部分由CCD摄像机[11]、图像捕获器[12]、运算加速器[13]、计算 机[14]和手动开关[15]构成，图像捕获器[12]和运算加速器[13]插在计算机[14]主 机箱的扩展槽中，CCD摄像机[11]位于乌氏光学干涉系统中分划板[10]后的光路上， CCD摄像机[11] 的输出通过图像捕获器[12]与计算机[14]连接，手动开关[15]与计 算机[14]的输入设备并联。 2 9 说 明 书 第1/3页 电脑接触式干涉仪 本实用新型涉及一种光学干涉仪，特别是一种用于长度计量测量的电脑接触式 干涉仪。 目前，与本实用新型最相关的现有技术如：上海光学仪器厂生产的立式接触式干 涉仪，又称为乌 氏干涉仪 。它是应用光波干涉原理，将微小尺寸的变化转换为干涉 条纹的移动，读出干涉条纹的移动数，从而达到测量微小尺寸的 目的，测量的原理 是比较测量法，即把波测量块与比它高一等的量块进行 比较，从而推算出波测量块 的长度，它主要用 以检定尺寸小于150mm 的量块 。这种仪器是一种广泛应用在机械 制造等工业领域长度计量的标准仪器，且属于一种光机类型的仪器，它最主要的不 足是采用 目视干涉条纹的位移来判读测量值，并用手工计算得到结果，这种 目视判 读仪器将不可避免地造成以下不 良后果：(1) 由于量块是一种高精度的量具，该干涉 仪用于量块的检定(包括定度) 时，需被测量块与标准量块的测试时间要尽量的短， 以避免外界环境变化的影响，提高准确度，但这种仪器在量块检定规程 中两个量块 量值传递需要判读并记录12～14个读数，故在 目视判读的状态下，速度难 以很快， 因