用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计.PDF

用计量型 ＡＦＭ 对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计——— 黄强先 袁 丹 尤焕杰 　 　 　 用计量型ＡＦＭ 对一维纳米基准栅的 标定及不确定度估计 黄强先 袁 丹 尤焕杰 　 　 　 ， ， 合肥工业大学 合肥 ２３０００９ ： ， 摘要 利用轻敲模式的计量型ＡＦＭ 对公称栅距为 ２４０ｎｍ一维基准样板进行了标定 在充分分析 、 、 ， 。 ＡＦＭ 的结构和特性 测量过程 数据处理的基础上 得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度 ， 。 ， 通过全面的不确定度分析 估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级 该不确定度分析表明 对于纳米 ， 、 ， 量级测量 不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器 测量过程中各种测量不确定因素的影响 还需要 考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。 ： ； ； ； 关键词 一维基准栅 计量型原子力显微镜 纳米计量 不确定估计 中图分类号： ； ： ／ ＴＨ７１ ＴＨ８９ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１２．０５．００５ 　　　　　　 ｊ ＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄＵｎｃｅｒｔａｉｎｔ ＥｓｔｉｍａｔｉｏｎｏｆＯｎｅ－ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌＲｅｆｅｒｅｎｃｅＧｒａｔｉｎ Ｕｓｉｎ 　 　 ｙ 　 　 　 　 ｇ ｇ 　 　 ａＭｅｔｒｏｌｏ ｉｃａｌＡｔｏｍｉｃＦｏｒｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏ ｅ 　 ｇ 　 　 　 ｐ Ｈｕａｎ Ｑｉａｎ ｘｉａｎ ＹｕａｎＤａｎ Ｙｏｕ Ｈｕａｎｉｅ ｇ ｇ 　 　 　 　 ｊ 　 ， ， ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｈｅｆｅｉ ２３０００９ 　 ｙ 　 ｇｙ 　 ： Ａｂｓｔｒａｃｔ Ａ ｏｎｅ－ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｒａｔｉｎ ｗｉｔｈｎｏｍｉｎａｌ ｉｔｃｈｏｆ２４０ｎｍｗａｓｃａｌｉｂｒａｔｅｄｕｓｉｎ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇ