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时间是利润率的大敌-ymsmagazine

工艺控制就像一扇窗户,让您能够看到生产流程的各个阶段中正在发生的一些东西。没有工艺控 制,从研发到大规模生产的整个实施阶段就如同蒙着眼罩来制造手表。这一类比不会像看上去那 样牵强。集成电路的特征太小而无法用肉眼看到,即使进行检测,通常也只是对所生产的全部晶 圆中的很小比例进行检测。对于薄膜、线宽和叠层对准等参数化测量,仅仅是对每个所选晶圆上 极小比例的晶体管进行测量。大多数时候,半导体厂经理确实很盲目。参数测量和缺陷检测是为 数不多的短暂时刻,让“钟表制造者”能够在此刻揭下眼罩,检查劳动成果,并在必要时予以纠 正。 随着多重曝光、两次间距曝光以及其他先进图案成型技术的采用,生产工艺变得越来越复杂,而 无法及时制造出产品的风险也比以往任何时候都要更高。在研发及良率改善阶段使用更多流程控 制步骤,可增加窗口数量,您可以通过这些窗口看到工艺执行情况。对最高品质的工艺控制手段 进行调查,可提升这些窗口的品质。然而,造成视角扭曲的窗口,例如低捕获率的检测机台或低 准确率的量测机台,可能比根本没有窗口更糟糕,因为这种窗口会浪费时间,并可能会提供误导 性数据。有效的工艺控制策略,包括在正确的步骤上采取正确的机台、正确的程式,以及正确的 取样,能够大大减少研发和良率改善所用的时间。 以单个晶圆为基础,工艺控制的数量在研发阶段应当达到最高,此时成品率接近于零,并且有更 多问题需要捕获和纠正。在此阶段,解决一个单个良率问题就可以减少两个学习周期(节省大约 一个月),这就足够支付工艺控制整体预算的很大一部分。 研发阶段结束后,良率改善阶段是下一个需要高检测采样率的重要阶段,。这一阶段的当务之急 是将成品率尽快提升至可盈利水准,而被蒙住双眼是无法做到这一点的。 最后,在大规模生产阶段,有效的工艺控制策略可通过及时发现成品率受限问题 (偏离)来尽量 减少风险。 这一切都关乎时间,因为时间就是金钱。 参考文献: Solid State 1) Process Watch :You Can’t Fix What You Can’t Find (不能发现就无法解决), Technology (固态技术),2014 年7 月 2) Process Watch:Sampling Matters (采样问题), Semiconductor Manufacturing and Design (半导体制造与设计),2014 年9 月 3) Process Watch:The Most Expensive Defect (代价最高的缺陷),Solid State Technology (固 态技术),2014 年12 月 4) Process Watch:Fab Managers Don’t Like Surprises (半导体厂经理们不喜欢任何意外), Solid State Technology (固态技术),2014 年12 月 5) Process Watch:Know Your Enemy (了解你的敌人),Solid State Technology (固态技术), 2015 年3 月

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