用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性_刘洪金.pdfVIP

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2018-05-31 发布于河南
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用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性_刘洪金

18 4 真空与低温第卷第期 228 Vacuum ＆ Cryogenics 2012 12 年月  用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性 1 2 2 2 2 ，，，，刘洪金池华敬郭帅陈革章其初 ( 1．， 253000 ; 2 ．， 253000) 山东温屏节能玻璃有限公司山东德州皇明太阳能股份有限公司山东德州 : PEV-1 Ar ，摘要采用型压电陶瓷阀作为溅射气体流量输出的驱动元件用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒。。压力控制应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响试验分析得到压，。，，电陶瓷阀偏振电压变化过程中气体输出流量的迟滞曲线当压电陶瓷阀环境温度升高时该迟滞特性会减弱气体输出流量随偏振电压变化速率变大。 : ; ; ; 关键词压电陶瓷迟滞特性温度特性有效工作电压中图分类号:TH138． 52 文献标志码:A 文章编号:1006 － 7086 (2012)04 － 0228 － 04 DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 1006 － 7086． 2012 ． 04 ． 009 CHARACTERISTIC OF PIEZOELECTRIC CERAMIC VALVE IN THE APPLICATION OF GAS FLOW CONTROL LIU Hong-jin1 ，CHI Hua-jing2 ，GUO Shuai2 ，CHEN Ge2 ，ZHANG Qi-chu2 (1． Shandong Winpin Energy-saving Glass Co． Ltd ，Dezhou 253000 ，China ; 2． Research and Development Center for Coatings ，Himin Solar Co． Ltd ，Dezhou 253000 ，China) Abstract :PEV-1 type piezoelectric ceramic valve is used as the output drive element of Ar in the system of vacuum magne- tron spu