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扫描探针显微镜原理及其应用1
扫描探针显微镜原理及其应用;General term of a type microscope, which performs surface form observation in minute domain by detecting the physics properties between probe and sample.;10 mm;High Resolution in 3D image;标准配置功能;Contact AFM(Atomic Force Microscope);物理特性测量;【测量原理】 在AFM模式下,使扫描器边产生Z方向微小振动,边加一定周期的力在样品上,将这时的悬臂的弯曲振幅影象化,以测量粘弹性的表面分布。 【特征】 可同时测量物质表面的形貌像及粘弹性分布。;扭曲形变信号;Vrsinωrt(for cantilever vibration) ;电特性测量;Scanning Tunneling Microscope;【可得到什么信息?】 样品微小区域的导电性分布 任意点的I / V曲线特性 【测量原理】 导电性Cantilever和样品间加任意的 电压可以进行导电性分布测量或局部 I / V曲线测量 【特征】 电流分辨率 : 约60fA RMS ??用电场氧化的样品表面加工 【应用领域】 半导体,陶瓷,绝缘膜 导电性高分子等 ;Comparison of AFM and DFM;Liquid crystal 11CB STM;;应用半导体研究 精密表面粗糙度评价;Measurement of Wafer’s Surface Roughness;应用于记录材料形貌及磁畴研究;Groove morphology of CD-R DFM mode(5μm□);Storage; ?Conductivity of ITO Film ?TFT Potential etc ;不同材料I/V曲线测量; ;Phase Transition Layer changes between the crystalline amorphous. The left image shows the land groove structure of DVD-RAM and the right image shows the surface potential image of same position.;SPM探针;HOPG surface processing by Apply bias Voltage (4μm□); 日本精工;控制系统 SPI3800N;Scanning Probe Microscope System SPI3800N Series;SPA-400多功能扫描探针显微镜;SPA-400 Specification;Thank you!
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