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CPT confidential * 石山偏贴流程及机构介绍 CELL工程部 报告人:梁海武 2009年7月17日 目 录 一、石山洗净机 流程说明(P3) 二、石山洗净机 研磨机构(P4~P8) 三、石山偏贴机 流程说明(P9) 四、石山偏贴机 机构介绍(P10~P16) 石山洗净机 流程说明(1/1) 基板移栽入洗净机 CF面研磨洗净 TFT面研磨洗净 基板纯水喷淋 基板高压空气烘干 基板载出 1. 基板LD移栽入,上下研磨洗净除去基板表面残胶异物玻璃屑,再经过纯水高压喷淋、高压空气烘干后,载出进入偏贴机. 2. 机种尺寸:95*58mm(4寸)~280*180mm(12寸) 3. 生产周期：8秒/枚 (7寸); 4. 生产能力(理论值)：最大450 个/时；最大10800枚/天（24 hr/天计） 偏前表清机: 石山洗净机 研磨机构(1/4) 洗净研磨机构 氧化铝，氢氧化铝，碳酸钙材质 研磨布材质 1.拟订立SN规范胶层清洁频度(1次/月); 2.研磨胶层更换频度:1年/次; 机构保养更换 1.研磨回数:1~6回(建议3回); 2.研磨速度:230~350mm/sec; 3.研磨布送量:6mm/（6pcs、4pcs、2pcs); 4.研磨压力:20kpa~35kpa; 5.研磨喷水量:一直开最大; 相关参数 　汽缸调整研磨压力,研磨Gap值固定; 机台驱动 　1.移载stage; 2.研磨台面(胶层+钢板); 主要构成 研磨布+纤维毛刷.(可清除油性物质、少量残胶),通过气缸压力（可调）将研磨布接基板，将研磨布来回移动（研磨次数可调）以去除基板上的异物、残胶；使用毛刷将研磨后的异物彻底清除 目的 研磨洗净 项目 石山洗净机 研磨机构(2/4) 洗净研磨机构 -- 研磨水平确认 Panel 吸附于上流Stage 感压纸A 贴付于背板胶层 送进感压纸 B 上流Stage手动操作向上 感压纸效果 平行度OK 奇异笔画九宫格 投入机台 取出 1.奇异笔画九宫格 2.感压纸测试 洗净研磨机构 – 保养与更换 石山洗净机 研磨机构(3/4) 1. 研磨胶层清洁: 2. 研磨胶层更换: 边缘残胶割除 砂纸磨背板钢板 双面胶贴于背板处 重力作用压合 边缘双面胶 割除 缓冲胶层脱胶 缓冲胶层破损 石山洗净机 研磨机构(4/4) 洗净研磨机构比较 石山研磨洗净 七忆毛刷洗净 SR4刮刀洗净 刮伤 无 无 缺点 　 接近0元/pcs 0.265元/pcs 洗净成本 佳 不佳 佳 洗净效果 清除油性物质、少量残胶 油性物质、残胶均无法清除 清除油性物质、少量残胶 去除物质 刮刀+纤维毛刷 金刚沙刷+纤维毛刷 研磨布+纤维毛刷 洗净方式 SR4刮刀 七忆毛刷 石山研磨 项目 偏光板移栽 偏光板定位 偏光板CCD认识 基板移栽 基板Mark认识 偏光板贴付基板 石山偏贴机 流程说明(1/1) 1.偏光板Stock移栽出,X/Y轴汽缸机械定位,剥离机构离型膜撕离,CCD定位认识; 2.基板从表清机载出,十字Mark对位,移栽至贴付table; 3. Head上偏光板贴付于贴付Table之基板,先CF面,再TFT面贴付; 4. 产能/机种尺寸 与洗净机一致; 偏光板贴付机: 偏光板 移栽机构(1/1) 偏光板移栽部 二枚厚度检知 石山取偏光板方式: 优点: 省掉移载抖动事件,Tact time短; 缺点:1.无抖动机构,偏光板溢胶粘片,造成两枚检知异常; 2.取偏光板后，无Roller对偏光板表面进行清洁后进入撕膜机构 改造: 移载增加抖动汽缸*4pcs,仅在偏光版溢胶粘片严重时,程式上控制开启; 缺胶产生: 1. 偏光版边缘与档杠的摩擦; 2. Stock档杠或内壁 残胶,接触后将偏光版胶体带出; 3. 两枚检知 异常,挤压造成之缺胶; 4. 胶体太软 贴付压力过大,偏光版 胶体挤出,造成缺胶; 偏光板机械定位(1/1) 偏光版定位调整: 1. 通过调节定位汽缸截留阀门调整定位速度,若定位速度合适值时, 2. 调整Head头若真空值,调整偏光板定位异常; 偏光板机械定位 定位Bar汽缸 先端飞出量4.0~5.6mm 侧飞出量1mm 偏光板剥离机构 前伸 Servo motor 汽缸 Tape 卷取轴 Roller Tape 偏光板剥离机构(1/4) 偏光板离型膜 剝離 70 mm/s Servo motor 汽缸 Tape 卷取轴 Roller Tape NIP roller 卷取弱 偏光板剥离机构(2/4) 偏光板剥离机构 0.185元/片 0.024元/片 0.064元/片 片成本 2条长边剥离 夹膜撕膜 短边剥离 洗净方式 SR4剥离 七忆剥离 石山剥离 项目 剥