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洁净厂房设计规范2003
PAGE PAGE 1 EMBED Equation.3 洁净厂房设计规范2003 版 EMBED Equation.3 1总 则 1.0.1洁净厂房设计必须做到技术先进、经济适用、安全可靠、确保质量,并就在符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。 1.0.2本规范适用新建、扩建、和改建洁净厂房的设计。 1.0.3洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。 1.0.4洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的有关强制性国家标准、规范的规定。 2术 语 2.0.1洁净室 clean room 空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 2.0.2 洁净区 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。 2.0.3 移动式洁净小室 可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。 2.0.4人身净化用室 人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 2.0.5物料净化用室 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 2.0.6粒径 由给定的粒了尺寸测定仪响应当量于被子测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。 2.0.7悬浮粒子 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1~5μm的固体和液体粒子。 2.0.8超微粒子 具有当量直径小于0.1μm的粒子。 2.0.9微粒子 具有当量直径大于5μm的粒子。 2.0.10粒径分布 粒子粒径频率分布和累积分布,是粒径的函数。 2.0.11含尘浓度 单位体积空气中悬浮粒子的颗数。 2.0.12洁净度 以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。 2.0.13气流流型 对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。 2.0.14单向流 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 2.0.15垂直单向流 与水平面垂直的单向流。 2.0.16水平单向流 与水平面平行的单向流。 2.0.17非单向流 凡不符合单向流定义的气流。 2.0.18混合流 单向流和非单向流组合的气流。 2.0.19洁净工作区 指洁净室内离地面高度0.8~1.5(除工艺特殊要求外)的区域。 2.0.20空气吹淋室 利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。 2.0.21气闸室 设置在洁净室出入口,阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。 2.0.22传递窗 在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。 2.0.23洁净工作台 能够保持操作空间所需洁净度的工作台。 2.0.24洁净工作服 为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。 2.0.25空态 设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。 2.0.26静态 设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。 2.0.27动态 设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。 2.0.28检漏试验 检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验。 2.0.29高效空气过滤器 在额定风量下,对粒径大于等于03μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。 2.0.30超高效空气过滤器 在额定风量下,对粒径01~02μm粒子的捕集效率在99.999%及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。 2.0.31纯水 对电解质杂质含量(常以电阻率表征)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均有要求的水。 2.0.32防静电环境 能防止静电危害的特定环境,在这一环境不易产生静电,静电产生后易于消散或消除,静电噪声难以传播。 2.0.33表面电阻 在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。 2.0.34体积电阻 在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。 2.0.35表面电阻率 在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线密度之商。其量纲为Ω/□。 2.0.36体积电阻率 在材料内层的直流电场强度与稳态电流密度之商。其量纲为Ω.cm。 2.0.37专用消防口 消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口,平时封闭,使用时由消防人员从室外打开。 2.0.38自净时间 洁净室被污染后,净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。 2.0.39生物洁净室 洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。 2.0.40浮游菌 洁净室悬浮在空
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