中科科仪真空检漏事业的发展和展望研究.pdfVIP

中科科仪真空检漏事业的发展和展望 周小弟 (北京中科科仪技术发展有限责任公司 北京100080) 本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氮质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性 能介绍，谠及了今后的发展趋向和有自主潮识产权的先进产品。 Abstract introducethe ofthe KYKY ttd．Cointhe development technologydevelopment ilreaof the Helium LeakDetectorand Mass other devicesin researching，producing accessory Spectrometer f1．sthe ofthe vacuum advanced pastfortyyears，Sohi曲virtuemajor detectingproduct，the product withown the offiJture． patents，anddevelopment tendency 1 前言 四十年代发展起来的氦质谱检漏仪，在我国经过半个多世纪的应用实践和发展，取得了辉 煌的成果，发展成为事业(产业)，从航空航天、军事工业、大科学工程、核工业到轻工、医疗、 仪器仪表、汽车、制冷，可以说是无处不在，无事不用。真空检漏就其发展来说有两个方面， 即一方面是检漏仪器本身、另一方面是检漏工艺技术的发展。我国的检漏仪器制造开始于六十 年代初期，当时的中科院科仅厂等十几家单位走仿割的道路，有单聚焦和双聚焦，普通型和超 高灵敏度型等各式检漏仪，六十年代至七十年代是我国仪器发展的鼎盛时期，主要的带动是核 工业和电子工业．随着国家的改革开放，真空检漏的应用领域不断的扩展，对仪器的品种、质 量、需求量都有了很大的增长。同时．真空检漏科技人员队伍不断扩大，在应用实践中发展和 完善各种检漏仪器设备和检漏工艺及技术，极大的推动了我国检漏事业的发展。 2技术基础及发展阶段 1． T 中科科仪在60年代引进了当时苏联nH-4A型检漏仪，到60年代中期自行设计研制了 3Torr·L／S，并再次为提高灵敏度研制新仪器。通 两次聚焦的超高灵敏度检漏仪，灵敏度达101 过论评、计算、实践发现诸多问题。走过一些弯路．而后转向把双聚焦的检漏仪小型化、仪器 化。设计ZIP一4G型并批量生产近100台。该仪器曾为毛主席的水晶棺做过检蒲。到了70年代， 参阅了国外资料，美国Varian公司推出了，利用扩散泵对轻质量数气体低压缩比的特征，出现 Torr)大大扩展了氦 了单一逆流式检漏仪，使之实现了被检漏零件部件的高压强下检漏(100M 检漏仪的应用领域，从此中科科仪紧随国际发展氮检漏仪步伐，开始研制逆流式检漏仪。首先 4l 是对扩散泵低压缩比的研究、制作，以及影响检漏仪灵敏度的诸多因素的大量实验。扩散泵抽 气稳定性的研究、加热功率对压缩比的影响及关系等问题进行全面实验研究。’70年代末，单一 流式氦质谱检漏仪研制成功，获得中国科学技术成果二等奖，并逐步的商品化、小型化。但是 稳定低压缩比的扩散泵制作困难。一般三级扩散泵改进难以实现。八十年代初