使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统.pdfVIP

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2017-12-28 发布于北京
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使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统.pdf

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使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统.pdf

第18卷第12期光学精密工程 V01．18No．】2 andPrecision 2010年12月 Optics Engineering Dec．2010 文章编号 1004—924X(2010)12-2543—06 使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统尼启良1，何玲平1，刘世界1，董宁宁2，陈波1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033； 2．中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州215163) 摘要：研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原犁样机，该探测器系统主要由‘丁作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1．5 mm，有效直径为47mlTl的三电极楔条形位敏阳极，研制了最高计数率为200kHz的前端模拟和数字电路。测量了探测器的暗计数率、脉冲高度分布、增益、线性及李间分辨率等工作特性。测量结果表明。探测器的空间分辨率为7．13lp／mm (即0．14ram)，满足月基极紫外相机对卒间分辨率的要求。关键词：极紫外探测器；光子计数成像探测器；微通道板；感应电荷；楔条形位敏阳极中图分类号：V447．3；TH724文献标识码：A doi：10．3788／OPE2543 Extremeultraviolet ima based singlephoton。。countingngsystem oninduced anode chargeposition。sensitive NI B01 Qi—lian91。HEI．ing—pin91。LIUShi—jiel，DONGNing—nin92，CHEN Institute Mechanicsand ofOptics。Fine (1．Changchun Physics，ChineseAcademyof 130033，China；2．SuzhouInstituteBiomedical Sciences，Changchun of and Sciences，Suzhou215263，China) EngineeringTechnology，ChineseAcademyof Abstract：Anew oftwo—dimensional withaninduced prototype photon—countingimagingsystem anodeinextreme was foramoon—based chargeposition-sensitive ultraviolet(EUV)regiondeveloped EUVcamera．7rhedetector is ofmicrochannel systemmainlycomposed plate(MCP)stacks operating ina