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3.7 半导体传感器 济南大学机械工程学院
第三章 常用传感器与敏感元件
3.1 概述
3.2 机械式传感器及仪器 本章学习要求:
3.3 电阻式传感器 1.了解传感器的分类
3.4 电容式传感器 2. 了解各种传感器的工作原理、测量电
3.5 电感式传感器 路、特性和应用实例;根据被测物理量
的特点较合理选用传感器。
3.6 压电式传感器
3.7 半导体传感器 3.重点了解常用传感器的检测方法,关
注其它传感检测方法(包括化工、生物
3.7.1 磁电转换元件传感器 等领域),拓宽获取信息的思路。
3.7.2 光电转换元件
3.8 传感器的选用原则
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3.7 半导体传感器 济南大学机械工程学院
特点:
半导体传感器与前面介绍的传感器相比,有很多明显的特点:
物性型传感器;
结构简单、体积小、重量 ;
功耗低、安全可靠、寿命长;
响应快;
易于实现集成化;
输出一般是非线性的,需要采用线性化电路;
受温度影响大,须采用温度补偿措施;
性能参数分散性较大。
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3.7 半导体传感器 济南大学机械工程学院
3.7.1 磁电转换元件传感器
1)霍尔传感器
霍尔传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理而将被测量
转换成电动势输出的一种传感器。由于霍尔元件在静止状态
下,具有感受磁场的独特能力,并且具有结构简单、体积小、
噪声小、频率范围宽(从直流到微波)、动态范围大(输出电势变
化范围可达1000:1)、寿命长等特点,因此获得了广泛应用。
例如,在测量技术中用于将位移、力、加速度等量转换为
电量的传感器;在计算技术中用于作加、减、乘、除、开方、
乘方以及微积分等运算的运算器等。
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霍尔效应
金属或半导体薄片置于磁场中,当有电流流过时,在垂直于
电流和磁场的方向上将产生电动势,这种物理现象称为霍尔效应。
磁场和薄片法线
U K IB sin a
H H
霍尔常数,决定与材质、
温度、元件尺寸,表示在
单位磁感应强度和单位控
制电流时霍尔电势的大小
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霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成,如图:
霍尔片是一块 导体单晶薄片(一般为4mm 2mm 0.1mm) ,在它的长度方向
两端面上焊有a 、b两根引线,称
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