有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
等离子体增强反应蒸发沉积地氟掺杂氧化铟薄膜地性质！
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # 0 !$$! 0 ， ， ， QFR 4# PF 4 0 JD=1@ !$$! （ ） $$$K0!H$*!$$!*# $0 *$%%-K$% G’9G LO68’G 68P8’G !$$! ’@A7 4 L@SC 4 6F1 4 等离子体增强反应蒸发沉积的氟掺杂氧化铟 薄膜的性质! 程珊华 宁兆元 黄 峰 （苏州大学物理系，苏州 !#$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !$$ # !$ !$$ $ 采用直流辉光’( * + 等离子体增强反应蒸发方法沉积了氟掺杂氧化铟透明导电薄膜，经过真空退火处理薄 ) ! 膜的电阻率达到 / 0 · ，透光率高于 研究了掺氟量和退火温度对薄膜电阻率和透光率的影响，结果 ,- . $ ! 12 -$ 3 4 表明：氟的掺入增加了载流子浓度，使得薄膜的电阻率明显下降，而薄膜的透光率变差，但是可以通过真空退火处 理使其得到显著的改善，掺氟量越大需要的退火温度越高4 5 射线衍射分析说明，氟的掺入使薄膜的无序度增加； 退火处理提高了薄膜的结晶状况，改善了薄膜的透光性能，同时也没有增加薄膜的电阻率4 关键词：透明导电薄膜，氟掺杂，等离子体增强反应蒸发沉积 ： ， ， !## 0% %-## #!# 温度下制备了方块电阻低于)$ 、透光率高于H$ 3 ! ［］ 引 言 的优良 掺杂 薄膜 本文使用 混合 67 87 + 4 ’( * + ! 0 ) ! 气体直流辉光放电增强反应蒸发方法制备了氟掺杂 太阳能电池、液晶显示器等都需要使用透明导 87 + 薄膜，研究了掺氟量、真空后处理工艺对薄膜 ! 0 电薄膜作电极 掺杂的 （ ）薄膜是一种
文档评论（0）