超短脉冲激光微纳加工新进展赵全忠.pdf

2013 激光技术创新应用高峰论坛 超短脉冲激光微纳加工新进展 Progress on ultrashort pulsed laser micro/nanoprocessing 赵 全 忠 中国科学院上海光学精密机械研究所 zqz@siom.ac.cn 2013年11月1 日武汉 背景及意义 新能源 高端装备制造 信息技术 战略性新兴产业 新材料 新能源汽车 节能环保 生物 表面 微观改性 精密微细加工 内部 超短脉冲激光 微纳结构 （超快光子） 功能器件 超短脉冲激光 Computer Camera One Human existence clock cycle flash month Age of pyramids 10 fs light pulse 1 minute Age of universe -14 -9 -4 1 6 11 16 10 10 10 10 10 10 10 10-15 10-12 飞秒 皮秒 Time (seconds) 皮秒激光(picosecond laser) 飞秒激光(femtosecond laser) Question? 超短脉冲激光微纳改性分类 Morphology 形貌 Refractive Chemical bonds index 化学键 折射率 Morphology Refractive index Defect modification Crystal modification modification Valence state 超短脉冲激光 transition 微纳处理 离子价态