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维普资讯 、 i 鼍 } 大尺寸绝对距离测量发展综述 清华大学精密仪器系 任伟 明 粱晋文 关键诃 绝对距离测量 多波长激光嚣 稳额 小数缎次测量 空气折射率修正 摘 要 率文综述了绝对距离干涉测量技术的产生和发展过程。着重介绍了各国解 决多渡长激光器稳额书，l＼数缀班 量连两 ／卜主要 问题的方法 以及所取得的成就。指出了 该领域的发晨方向。 The DevelopmentofAbsoluteDistanceInterferometry DB0研8时 o／PreciMonI~atramenisTsinghaaU vardty W eimingRen Jinwen Liang Abstract Thispapersummarzesthe deveIopmeatofthe fie1dofAbsoluteDi— stance工Ⅱterfer0metr (ADI)．Itemphaticallyintroducestwo important problems~ stabilizingmuItiwa eIength laserfrequency and measuring fraction fringe；and poi— ntsouttheway ofdeveloping ADI． , KEY—WORDS：Absolute Distance lnterferometry，皿uIiwavelength lase~ laser frequency stabilization，measLl~ement offraction fringe，airrefraction ndex colre- ction． ： 随着大型机械，设备向着复杂化、精密化 出了小数重台法0．由于光掠柑干长度的限制， 方向发展，对于这些设备厨需要的大尺寸工件 该方法的测量抠围很小，激光器出现以后该问 的加工质量的检测要求也不断提高。其测量范 题得到了解决。1968年 K．M．Baird提 出可以 围为几米至几十米，测量精度在 lO至 l0量 采用红外激光干涉便进行长距离测量 ，多波 级 现有的测量方法已不能满足检测要隶。双 长、稳频激光器的出现，使小数重合法得到进 频激光干涉仪可 以在80m范 围内达到 5×10 一 步发展和完善，并 由此而产生了大尺寸绝对 的相对测量精度。但是它需要一个长度至少太 距离干涉测量技术。1977年CharIes，R．Tilfo_ 子被测距离的精密导轨，这样的导轨本身的生 rd[a提出了一套完整的利用多波长测长尾数决 产加工、检测就是一十难 以解决的问题 在有 定未知披测长度的分析方法。其基本恿想是利 些场合根本不可能架设导轨。从70年代开始发 用若干单波长形成长度 逐 级 增 加的合成波长 展起来的无导轨绝对距离测量方法为解决大尺 链，并用它逐次求解被测长度使之逼进真值 寸工件的检测问题提供了一个有效的途径 。 该思想对绝对距离测量的发展起到重要的、决 定性作用。 一 ， 绝对距离干涉测量技术的产生
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