多层导电结构厚度电涡流检测解析模型及试验验证.PDFVIP

第28 卷 第27 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.28 No.27 Sep. 25, 2008 142 2008 年9 月25 日 Proceedings of the CSEE ©2008 Chin.Soc.for Elec.Eng. 0258-8013 (2008) 27-0142-06 TG 115 TM 154 A 470 40 文章编号： 中图分类号： ； 文献标志码： 学科分类号： ⋅ 多层导电结构厚度电涡流检测解析模型及实验验证 范孟豹，黄平捷，叶波，侯迪波，张光新，周泽魁 (工业控制技术国家重点实验室(浙江大学) ，浙江省 杭州市 310027) Analytical Model for Eddy Current Testing of Thickness of Multi-layered Structures and Experimental Verification FAN Meng-bao, HUANG Ping-jie, YE Bo, HOU Di-bo, ZHANG Guang-xin, ZHOU Ze-kui (State Key Laboratory of Industrial Control Technology (Zhejiang University), Hangzhou 310027, Zhejiang Province, China) ABSTRACT: The analytical model of a cylindrical eddy current 可应用于导电结构厚度和材料属性检测的反演以及电涡 probe placed above semi-infinite arbitrary layered structures is 流检测系统的参数优化。 deduced by introducing magnetic vector potential based on the 关键词：多层导电结构；厚度检测；电涡流检测；解析模型 magnetoquasistatic Maxwell equations. During the impedance 0 引言 calculation, a symbolic operation is used to solve the coefficients of the magnetic vector potential expressions and as a result the 多层导电结构厚度检测是很多产品加工和检 impedance calculation becomes more efficient and less 测维修领域中急需解决的问题，如复合镀层厚度、 time-consuming. The presented analytical impedance model is 渗碳层深度检测、半导体上方金属膜厚度测量等。 applied in thickness measurement of a single layer metal and a 因此，实时准确的多层导电结构厚度检测对于提高 conductive coating on a metal substrate in eddy current testing. 过程控制质量和零部件在役检测与维修效率具有 The probe impedance response regularity due to the variation of 重要意义[1-3] 。在X 射线、超声、电涡流等众多方 thickness of single la